김대석 전북대 공대 기계시스템공학부 교수가 최근 삼성미래기술육성사업에 선정돼 2년 간 6억원의 지원을 받아 차세대 반도체 생산공정 혁신기술 개발에 나선다.
김 교수는 삼성전자 반도체기술연구소와 한국표준과학연구원, 일본 우쓰노미아대학 등과 협력해 새로운 이미징 분광편광측정 고속화 원천기술을 개발할 계획이다. 이 기술이 개발되면 반도체 공정에서의 측정 기술이 갖는 속도의 한계를 극복해 양질의 차세대 반도체 생산 수율을 획기적으로 높일 수 있을 것으로 기대된다.
전주=김한식기자 hskim@etnews.com
