반도체 장비용 진공밸브 전문업체 프리시스가 올해 고객사 매출 확대에 힘입어 매출이 최대 70%까지 늘어날 것으로 전망된다. 신성장동력으로 육성하고 있는 대형 유기발광다이오드(OLED) 디스플레이 제조장치용 진공밸브 분야에서도 새로운 성과가 기대된다.
프리시스는 국내 최대 반도체 업체는 물론, 주요 장비 업체에 진공밸브를 공급하고 있다. 미국 L사 등 글로벌 반도체 장비 업체도 프리시스와 주로 거래한다. 최근에는 세계 최대 장비 업체와도 거래를 텄다. 국내 최대 반도체 업체의 사외 진공밸브 교육 업체로 선정되는 등 프리시스 기술력은 관련 업계의 높은 평가를 받고 있다.
반도체와 디스플레이 패널은 진공 상태에서 제조된다. 프리시스 주력 제품인 진공밸브는 웨이퍼 이송장치와 프로세스 챔버 등 진공 시스템을 구성하는 부품 가운데 진공도를 유지하기 위해 필요한 핵심 부품이다.
외부 공기 차단, 일정 압력 유지 등 다양한 기술이 요구된다. 특히 닫힌 상태에서는 완벽한 차폐를, 열린 상태에서도 일정한 수준의 내부 진공도를 유지할 수 있어야 한다. 개폐가 잦으므로 수명이 높아야 하고 내열성, 내식성 역시 요구된다. 진공밸브에서 발생되는 미세 분진은 수율에 치명적인 악영향을 끼친다. 따라서 수십만회의 반복 동작에도 분진 및 가스가 방출되면 안 된다. 프리시스는 독자 기계 부품 가공, 정밀 계측 시스템을 갖춰 고객사 요구에 맞춘 고신뢰성 진공밸브를 공급할 수 있다. 스위스와 일본의 선진 업체와 치열한 경쟁 속에서도 국내 최대 반도체 업체, 세계 최대 반도체 장비사가 프리시스 제품을 사용하고 있는 이유도 바로 이 때문이다.
1999년 설립된 프리시스는 글로벌 경쟁사와 비교하면 후발주자지만 기술 개발에 매진한 결과 진공밸브 관련 130여건의 국내외 핵심 특허를 보유하고 있다. 지난 4월에는 특허청 선정 '2017년도 글로벌 IP스타기업'에도 선정됐다.
챔버 클리닝 작업을 위한 NF3 주입 등 가스밸브도 프리시스 주력 제품 가운데 하나다. 식각 장비가 전문인 미국 L사는 이 제품을 대부분 프리시스로부터 조달받는다.
프리시스는 그간 반도체 장비 밸브에서 대부분 매출이 나왔지만 앞으로는 대형 OLED 장비용 진공밸브 공급도 확대되며 매출 비중이 높아질 것으로 회사는 기대하고 있다. 이미 주요 장비사에 공급을 시작했다. 이 회사는 OLED 장비용 진공밸브의 원활한 생산 공급을 위해 35억원을 투입, 지난 8월부터 공장 증축을 시작했다. 전체 공장 면적은 약 1000평, 밸브 생산용 클린룸은 약 600평 규모다.
서진천 프리시스 대표는 “OLED 시장으로 본격 진출하면서 매출 성장 기대감이 높다”면서 “앞으로도 연구개발(R&D) 역량을 계속 집중해 세계에서 독보적인 진공밸브 전문업체로 올라서는 것이 장기 목표”라고 포부를 밝혔다.
한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com