반도체 증착 공정 확대... 장비용 세라믹 부품사 미코 '훨훨'

미코의 AlN 세라믹 히터. 플라즈마 화학기상증착장비(PECVD) 내에 탑재돼 챔버 내 온도를 조절한다. 이 제품은 일본의 한 회사가 시장을 거의 독점하다시피 하고 있다. 미코가 최초로 국산화했다.
미코의 AlN 세라믹 히터. 플라즈마 화학기상증착장비(PECVD) 내에 탑재돼 챔버 내 온도를 조절한다. 이 제품은 일본의 한 회사가 시장을 거의 독점하다시피 하고 있다. 미코가 최초로 국산화했다.

반도체 장비용 세라믹 부품 소재 전문업체 미코가 전방 산업계의 투자·생산 확대에 힘입어 올해도 사상 최고 실적을 낼 것으로 전망했다. 특히 기존 고객사 외 국내외 대형 고객사로부터 공급 문의가 확대되고 있어 추가 실적 확대 기대감도 크다.

5일 미코 관계자는 “반도체 시황 호조세가 계속되고 고객사가 다변화됨에 따라 공정 장비용 세라믹 소재부품 매출이 증가할 것”이라면서 “올해 연결 매출액은 작년 대비 20% 이상 성장한 2225억원, 영업이익은 30% 성장한 378억원을 예상한다”고 밝혔다.

미코는 세라믹 소재 원천 기술과 이를 기반으로 세라믹 히터 등 반도체 장비에 들어가는 고 기능성 부품을 생산할 수 있는 국내 유일의 회사다. 전체 매출 85%가 반도체 공정용, 10%가 디스플레이, 나머지 5%가 의료기기 사업에서 나온다.

주력인 반도체 장비용 세라믹 히터는 플라즈마 화학기상증착장비(PECVD) 내에 탑재돼 챔버 내 온도를 조절하는 부품이다. 이 제품은 일본의 한 회사가 시장을 거의 독점하다시피 하고 있다. 삼성전자가 2000년대 독점 구조를 깨고자 미코에 개발 의뢰를 한 것이 지금 사업으로 이어졌다. 원익IPS가 가장 큰 고객사고 네덜란드 ASM도 미코 히터로 신장비를 개발하고 있다.

회사 관계자는 “글로벌 장비업체로부터도 개발 협업 요청이 계속 들어오고 있다”면서 “증착 공정이 확대되면서 관련 장비 수요가 늘고, 그 속에 들어가는 세라믹 히터 역시 수요가 커졌다”고 말했다.

후공정용 히터 제품군도 하반기부터 본격 매출이 발생한다. 한미반도체가 SK하이닉스 고대역폭메모리(HBM) 실리콘관통전극(TSV) 공정용으로 제작, 공급한 듀얼 써멀콤프레션(TC) 본더 장비에 미코 히터가 들어갔다. 미코는 지난해 세라믹 히터 사업에서 280억원 매출을 기록했다. 올해는 이보다 43% 증가한 400억원 매출을 올릴 것으로 예상했다.

세라믹 엣지링과 가스 인젝터 등 세라믹 가공품 매출도 큰 폭으로 늘 것으로 전망됐다. 일반 메탈 가공품과 비교하면 세라믹 가공품이 내식성, 내플라즈마성 등 내구성이 높다. 이 분야에선 지난해보다 22% 증가한 200억원 매출을 올릴 것으로 기대했다. 회사 관계자는 “주문이 몰려서 공장을 풀 가동해도 공급이 달릴 정도”라고 말했다.

디스플레이 공정 장비용 하부전극 제품은 패널 기판을 잡아주는 역할을 한다. 미코는 4세대부터 10.5세대 하부전극 부품을 만들 수 있다. 원익IPS, 인베니아, LG디스플레이 등이 주요 고객사다. 물량 확대에 맞춰 최근 소폭의 증설했다. 지난해보다 36% 증가한 140억원 매출을 기대했다.

연결 실적으로 잡히는 코스닥 상장 자회사 코미코의 성장세도 주목된다. 코미코는 반도체 디스플레이 장비 부품의 정밀 세정과 특수 코팅 서비스가 주력 사업이다. 국내에선 이 분야 1위, 세계 시장에선 2위 점유율을 보유했다. 코미코 특수 코팅 서비스 사업이 확대되면 미코의 세라믹 파우더 공급 사업 역시 덩달아 확대되는 구조다. 별도 기준으로 보면 코미코의 규모는 모회사 미코보다 오히려 크다. 올해 매출 1500억원, 영업이익 305억원을 가이던스로 제시했다. 이는 작년보다 각각 20%, 15% 성장한 수치다. 미코의 별도 기준 올해 매출액 가이던스는 920억원(29% 성장), 영업이익 802억원(28% 성장)이다.

반도체 증착 공정 확대... 장비용 세라믹 부품사 미코 '훨훨'


한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com