반도체 원료 제조공정이 수출된다.
동부그룹(대표 윤문근)과 한국화학연구소(소장 강박광)는 최근 공동 개발에 성공한 초고순도 실리콘 다결정 제조공정을 세계 굴지의 반도체 실리콘 제조 회사인 독일의 바커 케미트로닉사에 수출키로 하고 이에 대한 특허실시권 양 허협약을 체결했다고 8일 밝혔다.
양허조건은기술료 1백76만달러를 포함, 총3백84만달러의 기술이전료와 생산 개시후 경상기술료로 매출액의 1~2.5%를 지불하는 조건이다.
초고순도실리콘다결정은 반도체의 소재로 사용되는 실리콘을 불순물이 포함 되지 않도록 불순물의 함량이 1억분의 1%이하인 다단계의 복잡한 과정을 거쳐 만들어 지는 반도체 제조공정에 들어가는 최종단계의 원료로 지금까지 국내에서는 연간 8천톤씩, 4천만달러 정도를 전량 수입해 왔으며 오는 2000년 에는 세계 시장이 10억달러 규모에 달할 것으로 전망된다.
과기처7억원, 동부제강 18억원등 총 25억원의 연구비가 투입돼 10년간의 장기적인 연구로 국내 개발에 성공한 초고순도 실리콘 다결정 제조공정은 첨단 의 화학증착법(Chemical Vapour Deposition)을 채택해 설비의 소형화에 따른 원가절감은 물론 에너지비용을 기존 공정의 3분의1이하로 줄일 수 있다는 장점이 있다.
또만들어진 단결정의 형태가 기존의 막대형과는 달리 입자형이어서 만들어져 불량률을 줄이고 생산수율을 대폭 향상시킬 수 있다.
동부그룹과화학연은 이번 바커 케미트로닉사와의 기술이전 협약에 앞서 미국.독일.일본.이탈리아 및 한국등 5개국에 초고순도 실리콘 다결정 제조와 관련한 7건의 국제 특허 등록을 완료한바 있으며 현재 국내외 6개국에 9건의 특허를 추가로 출원중에 있다.
현재막대 상태의 실리콘 다결정 제품만을 생산, 전세계 반도체 소재 수요의 30%를 공급하고 있는 바커트로닉사는 이번 협약으로 입자 형태의 다결정을 생산할 수 있게돼 세계적인 반도체 소재 공급업체로서의 입지를 한층 강화할 수 있을 것으로 전망된다.