SKC "일립서미터" 개방성공 고정밀 광학측전장비

SKC(대표 안시환)는 빛을 이용해 박막의 두께 및 굴절률을 측정하는 초정밀 광학측정장치인 일립서미터(Ellipsometer)의 자체개발에 성공했다고 14일 발표했다. SKC가 개발한 이 측정장치는 편광상태의 빛을 입사시킨 후 반사되는 편광상태를 분석해 박막의 두께 및 굴절률을 측정하는 장치로 컴퓨터.컨트롤러.광 학장치등으로 구성돼 5만분의 1mm 이하의 은 막에 대한 두께 및 굴절률 까지측정할 수 있어 *반도체 표면박막연구 *부식막의 연구 *표면전이층 흡착막 *증착막 및 생체막의 연구 등에 다양하게 사용할 수 있는 첨단측 정장 비이다. SKC는 이 장치를 이용해 CD마스터링공정에서의 감광제 도포막의 두께를 측정 하는 등 CD(컴팩트디스크), CD-I(대화형컴팩트디스크), CDG(컴팩트 디스크그래픽스 MOD(광자기디스크), LD(레이저디스크)등 자사가 생산하고 있는 광 디스크제품의 공정관리에 사용할 계획이다.

이로써 SKC는 정밀계측장비를 자체제작할 수 있는 능력을 보유하게 됐으며개발원가가 대당 1억원인 수입품의 절반수준에 불과, 원가절감에도 크게 기여할 수 있게 됐다.

일립서미터는미 루돌드사와 가트너사, 일 미조지리 광학공업소등 일부 업체 가 생산하고 있으며 국내업체는 그간 전량 수입에 의존해왔었다.

한편SKC는 이 제품에 대한 수요가 많을 것으로 보고 생산판매도 검토중이다