일반도체장비업체, 미생산 잇달아

일본의 반도체 제조장비 업체 및 장비부품업체들이 잇달아 미국 현지 생산에 나선다. 일본진공기술이 미국자 회사에서 전공정의 중요장비인 앗싱장치의 생산에 착수한데 이어 웨이퍼성막장비용 부품업체인 일본타이란사는 내달 자회사를 설립하고 오는 10월부터 현지생산을 개시할 계획이다.

이같은움직임은 미국반도체 업체들이 대대적인 투자계획을 적극화하는데 따른 것으로 앞으로 미국내에 설계에서 생산에 이르는 일관생산체제를 구축하려는 움직임이 중견장비업체를 중심으로 더욱 활기를 띨 것으로 예상된다.

일본진공기술이미국에서 생산 하는 것은 레지스터(감광수지)를 제거하는 앗싱장치. 그동안 동사는 이를 일본에서만 생산해 왔는데 최근 미국 자회사 알 박 테크놀로지에서 생산에 들어갔다. 금년도에 10대, 내년이후 연간 1백대의 현지판매를 목표로 하고 있다.

일본타이란은내달 자회사 아에라를 설립하고 10월부터 마스프로컨트롤러 (M FC)를 연간 5천~6천대 생산할 계획이다.