ETRI, 1.2미크론 아날로그 CMOS공정 기술개발

비디오카메라, 고선명TV등에 사용될 수 있는 아날로그 상호보완성금속산화막반도체 CMOS 칩 제조기술이 한국전자통신연구소에 의해 개발됐다.

29일 한국전자통신연구소(ETRI 소장 양승택) 반도체연구단 강진영박사팀은회로선폭이 1.2미크론인 아날로그 CMOS칩 제조기술을 세계 최초로 개발했다 고 발표했다.

강진영 박사팀은 또 이 기술을 이용해 10비트 아날로그 디지털 컨버터(ADC) 와 10비트 디지털 아날로그 컨버터(DAC)칩 시제품을 제조하는데 성공했다고 밝혔다. 아날로그 CMOS칩은 디지털 CMOS칩에 커패시터와 저항을 함께 설계해 아날로 그신호를 처리할 수 있도록 한 것으로 주로 고선명TV, 비디오카메라, 영상전화기 영상회의시스템 등의 아날로그.디지털 변환장치에 사용된다.

이번에 개발된 아날로그 CMOS칩은 이 연구팀이 이미 개발한 1.2미크론 디지 털 CMOS공정에 전압 및 온도특성이 우수한 다결정실리콘 커패시터와 저항 등을 추가하는 데 성공함으로써 이뤄졌으며 칩 수율이 70%로 우수하게 나타났다고 연구팀은 밝혔다.

특히 커패시터와 저항등 수동소자 제작기술은 향후 0.8미크론급의 아날로그C MOS공정에 적용할 수 있도록 개발돼 0.8미크론 아날로그 CMOS IC개발이 훨씬쉬워지게 됐다.

한편 ETRI는 이번에 개발한 아날로그 CMOS칩 제조기술의 검증을 위해 ADC 및DAC칩제작을 미 ORBIT사에 의뢰하는 동시에 자체제작을 병행한 결과 자체 제작한 칩이 동작전압특성에서 우수하게 나타났다고 밝혔다.

<대전=최상국기자>