반도체용 드라이 진공펌프시장이 3파전을 띠면서 공급경쟁이 치열하다.
8일관련업계에 따르면 국내 반도체산업의 활성화에 힘입어 반도체공정에 사용되는 드라이 진공펌프시장이 영국의 에드워드、 일본의 에바라、 프랑스 알카텔간의 3파전양상을 보이고 있다는 것이다. 이에따라 지금까지 단순 수입공급에 치중해오던 업체들이 제품을 완전분해 서비스하는 오버홀작업에 이어 현지에서 직접 조립생산하는 방안을 마련하는 한편 기존제품에 비해 시스템효율을 크게 높인 제품들을 속속 개발하고 있어 업계의 생산성을 높이는데기여할 전망이다.
국내시장의 60%이상을 점유하고 있는 진공기기 전문제조업체인 성원에드워드 대표 김중조)는 최근들어 환경보호기능을 강화하고 시스템측정능력을 보완한 새로운 제품을 공급、 시장경쟁에 대처해나가고 있다. 영국 BOC그룹산 하의 세계적인 진공기기전문업체인 에드워즈 하이 배큠 인터내셔널사의 국내 투자법인인 이 회사는 문제발생을 스스로 자기진단할 수 있는 새로운 컨트롤 러를 탑재、 중앙모니터링시스템을 구축하는데 적합한 "iQ드라이펌핑시스팀" 을 새롭게 내놓는 한편 유해폐기물을 발생하지 않게 만든 "듀얼GRC"를 공급 하는 등 제품고급화를 서두르고 있다. 동사는 특히 천안반도체공단내에 1천5 백평의 부지를 마련하고 조립생산에도 적극 나설 방침이다.
일본의 드라이펌프전문업체인 에바라제작소도 지난 91년 자본금 20억원을 투입 경기도 송탄시에 한국에바라정밀기계(대표 마쓰이 야키노리)를 설립하고 11개모델의 드라이 진공펌프공급에 나서는 한편 오버홀유지보수서비스확대에 나서고 있다. 에바라는 반도체업계의 호황으로 드라이진공 펌프의 수요가 크게 확대될 것으로 보고 국내에서 조립생산하는 방안도 적극 검토하고 있다. 통신 및 반도체장비전문업체인 프랑스 알카텔사의 반도체장비를 국내 독점공 급해온 대성실업(대표 장행익)도 최근 50대 50의 비율로 투자、 합작법인을 설립키로 했다. 이 회사는 늦어도 올해 상반기중 합작법인설립을 마치고 서비스확대를 중심으로 드라이진공펌프사업에 나서는 한편 오는 97년부터는 각종 진공펌프의 국산화에 들어갈 계획이어서 향후 드라이진공펌프의 국산화가 크게 진척될 전망이다. <이경동 기자>