그동안 정부출연금 지원규모를 포함한 세부사업내용을 둘러싸고 난항을 겪어온 통상산업부 "중기거점과제"중 반도체 장비부문 과제가 최근 최종 확정돼 반도체 장비 국산화개발이 급진전될 전망이다.
26일 관계기관및 업계에 따르면 사업주관기관인 반도체연구조합과 생산기술 연구원 등 관계기관은 최근 그동안 이견을 보였던 연구개발비를 정부 2백억 원、민간업체 3백억원 등 총 5백억원으로 확정하고 99년까지 4년간 총 33개 장비의 국산화를 추진키로 했다.
이를 위해 1차연도인 96년 5월까지 장비업체 14개、 소자업체 4개업체가 참여한 가운데 정부 23억5천5백만원、 민간업체 34억1천1백만원 등 총 57억6천 6백만원을 들여 에처 등 전공정장비 3개、 다이본더 등 조립용 장비 5개、 테스트핸들러 등 검사용 장비 1개、 기타 주요 구성품 및 관련장치 5개 등 총 14개 개발과제를 우선 개발키로 했다.
오는 99년까지 반도체 장비의 국산화율 50% 달성을 목표로 추진되고 있는이 사업이 본격화될 경우 현재 기술자립도가 선진국의 10분의 1 수준에 머물고 있는 반도체 장비 제조 기술기반이 한층 두터워질 것으로 기대된다.
<김경묵기자>