반도체장비업체인 어플라이드머티리얼즈코리아(AMK)가 기존 제품보다 크기는30%정도 줄이면서 주요 공정상의 성능을 크게 향상시킨 이온주입시스템 "IMPLANT xR80"(사진)"을 본격 공급한다.
이 제품은 이온소스로부터 웨이퍼에 이르는 광선의 경로가 길이 1.6m의 최단거리이면서 광선전류 또한 종전보다 훨씬 높은 5KeV를 활용、 0.25~0.18um급 초미세 회로선폭의 차세대 D램 제품과 각종 로직 제품의 생산공정에 적합하다고 AMK측은 설명했다. 또 이 제품이 생산성이 높고 크기가 작아 생산라인의 공간을 보다 잘 활용할 수 있는데다 운영비용도 저렴한 점을 감안、향후 3백mm(12인치)웨이퍼 주입시스템에도 적극 채용해 나갈 방침이라고 덧붙였다.
<김경묵기자>