케이씨텍(대표 고석태)이 일본 고요린드버그사와 합작으로 반도체 제조용수직형 확산로(Vertical Diffusion Furnace) 및 관련장치의 국내 생산에 나선다.
케이씨텍은 국내 반도체 생산확대에 힘입어 매년 수요가 큰 폭으로 늘고있는 확산로의 국산대체를 위해 최근 일본 고요사와 50 대 50의 비율로 총자본금 25억원 규모의 한국고요린드버그사를 합작 설립했다고 22일 밝혔다. 이에따라 국내의 확산로 생산업체는 기존 국제일렉트릭코리아를 포함해 2개 업체로 늘어나게 됐다.
케이씨텍은 확산로의 생산을 위해 지난해말 안성 2공단내에 1천여평의 부지를 확보했으며 올해 2대를 조립생산하는 것을 시작으로 98년에는 30대 수준으로 생산량을 늘려나갈 계획이다.
이 회사가 본격 생산할 "VF5000"시리즈는 히팅부문의 무게를 가볍게 설계한LGO히터를 채용하고 있으며 온도상승 및 하강시 안정화 속도가 타제품보다약 2배정도 빠르고 저온영역에서 제어성이 뛰어난 것으로 알려졌다.
케이씨텍은 앞으로 2년간 20억원을 집중 투자해 공정테스트 및 차세대설비개발을 위한 데모 룸을 별도로 확보할 예정이며 고요사로부터 설계 및 제작기술을 이전받아 독립적인 생산체제를 구축, 5년내에 부품 국산화율을 80%까지 끌어올릴 계획이다.
이 회사는 현재 현대전자와 공동으로 G7과제의 하나로 수직형 퍼니스를개발중인데 이번 합작으로 연구개발은 물론, 제품 상용화를 한층 앞당길 수있을 것으로 기대하고 있다.
케이씨텍은 지난해 프로세스 케미컬업체인 한국ADCS와 드라이 스크러버 및퓨리파이어 업체인 한국파이오닉스를 설립한데 이어 이번 일고요사와의 합작으로 모두 3개의 합작법인을 보유하게 됐다.
〈김경묵기자〉