『현장생산방식으로 초고순도의 반도체용 화학물질을 공급하고 있는 회사는세계적으로 에어리퀴드(Air Liquide)社 밖에 없습니다.』
세계 최대의 산업용 가스업체인 프랑스 에어리퀴드社가 한국 반도체 재료시장에 진출했다. 최근 국내 반도체용 화학약품시장에 첫발을 내딛은 에어리퀴드코리아서비스社의 베르나르 데노(37세)사장은 국내 반도체용 화학약품시장에 대해 상당한 자신감을 보인다.
『AL의 현장생산공급방식은 92년 미국에서 처음 시도된 이후 텍사스인스트루먼트(TI)·모토롤러·실텍·MEMC 등 유수의 반도체 및 재료회사에서 성공적으로 사용중입니다. 현장에서 생산·공급되는 화학물질의 순도를 사용시점기준으로 1PPT(1조분의 1)까지 높일 수 있어 2백56MD램 생산에 사용될 수 있을 정도로 품질이 우수합니다. AL의 방식을 도입한 반도체업체들은 투자 사업건별로 연간 1백만~2백만 달러를 절감한 것으로 나타났습니다.』
AL의 약품 제공방식의 특징은 원료저장탱크와 설치 가동이 쉬운 가정용 냉장고 크기의 화합물제조기를 이용, 현장에서 필요한 양만큼을 배합해 즉시공급한다는 점. 따라서 순도와 품질이 탁월한 화학물질을 생산공급할 수 있고 품질의 표준화 및 제품공급 방식에 일대 혁신을 가져올 수 있을 것이라고데노사장은 자신한다.
『현장 생산서비스가 가능한 화학물질로는 H₂O₂, NH₄F, NH₄OH, HCI, HF 등이 있고 이들을 배합해 만든 약품은 순도가 높고 기존의 방식보다 30~40%가량 비용을 절감할 수 있습니다. 수입해 사용하는 재료는 평균순도가 1백~5백PPT에 달해 고집적도의 칩을 만드는데 한계가 있고 2~3개월의 시간이 소요되며 저장공간확보와 보관에 따르는 위험부담을 감수해야 합니다.』 데노사장은 AL의 공급방법이 화학약품 사용량이 많고 초고순도의 약품이 필요한D램 메모리 및 실리콘 웨이퍼 생산에 적합하다고 설명한다.
일본과 대만에 AL그룹의 현지법인이 있지만 이들은 가스설비분야에 주력하고 아시아지역 반도체 화학약품 공급은 한국지사가 담당하고 있다. AL 한국지사는 화학약품의 현장생산공급시장을 우선으로 공략한 후 가스 및 화학물질관리 분야로도 영역을 넓힐 계획이다.
<정영태 기자>