일본 어드반테스트社가 독일의 반도체검사장비업체를 인수, 정확한 반도체검사가 가능한 EB(전자빔)테스터의 생산에 착수한다고 「日經産業新聞」이최근 보도했다.
어드반테스트가 유럽 자회사 ATEG를 통해 이번에 약 3억엔에 인수한 업체는 그동안 이 회사와 제휴관계에 있었던 독일 ICT의 전액출자회사인 ACT社로EB테스터를 개발하고 있다.
어드반테스트는 앞으로 ACT를 ATEG의 디자인센터로 운영할 방침이며 당분간은 이곳에서 칩의 시제품중 불량부분 점검뿐아니라 양산라인에도 사용할수 있는 EB시스템 개발을 전담시킬 계획이다.
그러나 EB시스템의 생산은 일본에서 하는데 올해 10대정도 생산을 목표로하고 있다.또 어드반테스트는 당분간 부품을 해외에서 수입하다가 점차 국내조달로 대체할 계획이다.
어드반테스는 지금까지 ICT로부터 EB테스터를 OEM으로 공급받아 반도체업체에 판매해왔는데 EB테스터의 일본내 생산은 이번이 처음이다. EB테스터는전자빔을 이용해 반도체의 불량부분을 단시간에 측정할 수 있는 것이 최대특징으로 전자빔을 칩에 쏘아 전압의 변화를 색깔의 차이로 화면에 표시한다.
기존의 테스터는 결함의 유무는 가려 내지만 불량부분을 측정하는데는 10시간정도 걸렸는데 EB테스터는 5분정도면 샘플 칩의 불량부분을 알아낼 수있다.
현재 검사장치는 90%이상이 기존의 타입이지만 반도체 회로가 미세해 짐에따라 고밀도에서 효율적인 검사가 어려워 져 EB테스터의 수요가 크게 확대될것으로 어드반테스트는 보고 있다.
한편 올해 반도체검사장치의 일본 국내생산액은 전년비 약 14%,금액면에서1천억엔 증가한 2천4백70억엔으로 전망된다.
<신기성 기자>