반도체장비업계, LCD장비 국산화 활발

반도체장비 업체들이 액정표시장치(LCD) 관련장비 국산화에 적극 나서고있다.

업계에 따르면 한국DNS·케이씨텍·한텍·한일초음파·셈틀·한국오토 등기존 반도체장비 업체들이 반도체장비를 제작하면서 쌓아온 기술력과 노하우를 기반으로 그동안 전량 수입에 의존하던 LCD장비 국산화에 박차를 가하고있다.

이는 LCD 제조공정이 반도체 제조공정과 유사해 LCD장비 개발에 큰 어려움이 따르지 않는데다 LCD관련장비의 수요가 2000년대에 급부상할 것으로 예상됨에 따라 고부가가치 LCD시장에 발빠르게 대응하기 위한 사전포석으로 풀이된다. 반도체 제조라인에서 필수장비인 웨트스테이션 등을 공급하고 있는 한국DNS는 올해 LCD용 포토레지스터를 개발하고 내년에는 LCD용 스핀 스크러버장비를 국산화해 늦어도 내년 상반기부터는 LCD장비 시장에 본격적으로 진출할 예정이다.

반도체장비를 전문으로 생산해온 케이씨텍도 별도의 연구팀을 구성하고 지난 94년부터 LCD글래스 양극 산화장치 개발에 착수하는 등 LCD관련장비 국산화에 박차를 가하고 있다.

또한 반도체용 세정장비를 생산해온 한일초음파도 95년부터 97년 개발을목표로 LCD용 세정장비 개발에 주력하고 있다. 특히 이 회사는 LCD장비 시장에 본격진출을 위해 별도의 부설연구소를 설립하고 클린룸 등의 시설을 갖춘공장을 준비하는 등 LCD장비 시장진출을 적극 모색하고 있다.

또한 반도체용 표면저항 측정기 등을 국산화한 셈틀이 올해부터 개발에 착수, 98년을 목표로 LCD용 표면저항 측정기 개발을 추진하고 있으며 이외에도올해 들어 기존 반도체장비 전문업체인 한텍·한국오토·우진정공 등 대다수반도체장비 전문업체들이 LCD관련장비 개발에 적극적으로 나서고 있다.

이에 대해 업계 관계자들은 『LCD 제조기술이 4MD램 반도체 제조기술 수준에 불과해 그동안 첨단 반도체장비를 생산해온 업체들이 LCD장비 개발쪽으로사업다각화를 모색하고 있다』며 『앞으로 LCD장비 국산화에 크게 일조할 것으로 보인다』고 말한다.

〈강병준 기자〉