3백㎜(12인치) 대구경 웨이퍼시장 선점을 위한 세계 웨이퍼업체들간의 조기생산경쟁이 치열하다.
현재 3백㎜ 웨이퍼 개발에 앞선 나라는 역시 자타가 공인하는 재료산업의강국인 일본이다. 최근 업계 처음으로 3백㎜ 샘플용 실리콘 웨이퍼 초기양산에 들어갔다고 발표한 일본 신에쓰는 앞으로 70억엔을 추가로 투자해 올해말부터 월 5천장까지 생산량을 늘려나가기로 했다. 고마쓰도 80억엔을 들여 연내에 3백㎜ 생산라인을 구축하고 내년초부터 월 5천장 수준의 시생산에 들어갈 계획이라고 밝혔다. 이밖에 미쓰비시와 쓰미토모도 연내 3백㎜ 생산라인구축을 목표로 대단위 투자를 계획중인 것으로 알려졌다.
미국과 유럽의 추격도 만만치 않다. 미국 MEMC社는 미주리공장에 3백㎜ 웨이퍼 시생산라인을 상반기에 구축하고 이달부터 4천장 규모의 샘플용 제품양산에 나서고 있다. MEMC는 특히 오는 12월부터 세마텍을 중심으로 표준화가확실시되고 있는 SEMI규격에 적합한 양산용(프라임) 제품을 생산, 시장선점에 나선다는 방침이다.
지난해 샘플개발에 성공한 독일 바카社도 3백㎜ 웨이퍼시장에서는 일·미업체에 뒤지지 않겠다는 각오다. 최근 미국과 독일에 공장 신·증설을 추진중인 바카는 일단 3백㎜ 웨이퍼 생산라인을 연내 독일에 구축하고 시장이 본격 형성될 99년 이후 미 오리건 공장에도 설치한다는 대단위 중장기 투자를계획하고 있다.
국내업체 가운데는 LG실트론의 약진이 돋보인다. 이번 「96세미콘웨스트」에 3백㎜ 웨이퍼 샘플을 출품한 LG실트론은 지난해말부터 구미연구소에 「3백㎜ 프로젝트팀」을 구성하고 기본장비 선정에 나서고 있는데 연내까지 80억원을 투자해 단결정성장기·와이어절단기 등을 도입, 파일럿라인을 구축하고 내년 상반기부터 월 1천장 규모로 시생산에 나설 예정이다. 또한 향후 3년간 5백억원에 달하는 대단위 투자를 실시, 국내 3백㎜ 웨이퍼시장을 선점할 방침이다.
포스코휼스는 합작선인 MEMC와의 기술협력을 통해 원하는 시기에 제품개발및 생산이 가능하다고 보고 일단 시장형성추이를 면밀히 분석한 후 대응한다는 방침이다. 이를 위해 현 천안공장 옆 3만평규모로 내정된 3백㎜ 웨이퍼전용공장의 조기착공을 적극 검토중이다.
업계의 한 전문가는 『국내외 유력 웨이퍼업체들이 현재 시생산중이거나적극 검토중인 3백㎜제품은 소자업체용 제품이 아닌 장비업체들의 샘플용으로 쓰이는 더미(DUMMY)제품들이지만 이들 제품이 장비를 포함한 3백㎜ 웨이퍼 관련제품의 표준화를 결정짓는 기준이 된다는 점에서 시장선점효과가 크다』고 설명했다.
현재 3백㎜ 웨이퍼의 상용화를 앞당길 수 있는 장비표준화는 일본과 미국진영으로 나뉘어 추진되고 있는데 연내에 양측의 합의로 표준화가 결정될 것으로 관측되고 있다. 이에 따라 3백㎜ 웨이퍼의 상용화는 당초 예상보다 1∼2년 빠른 99년부터 가능할 것으로 보는 시각도 적지 않다.
3백㎜ 웨이퍼는 기존 8인치 제품에 비해 칩생산 면적이 2배 이상 되는 차세대 웨이퍼로 2백56MD램을 양산하기 위해서는 반드시 필요한 제품으로 평가되고 있으며 현재 3백㎜ 더미웨이퍼는 1장당 약 1천4백달러를 호가하고 있다.