일본 통산성 공업기술원이 지난 19일 반도체장비시스템 표준화를 위한 조사연구위원회를 설치했다고 일본 「電波新聞」이 보도했다.
이 위원회는 3백mm(12인치)웨이퍼를 이용한 집적회로생산이 본격화되는 2000년이후의 제조장치및 제조라인의 표준화에 관한 지침을 마련하게 된다.
이 위원회는 제조장비 생산효율의 향상 및 표준화에 관한 기술개발을 목표로, 3년동안 연구개발프로젝트를 추진할 예정이다.
일본의 반도체제조장비생산액은 지난해 1조억엔을 넘어서면서, 세계시장의절반이상을 차지했다. 그러나 신기술 및 표준화 측면에서는 미국업체들에 뒤져 있는 상태이다.
이 위원회의 설치는 이같은 미국과의 기술격차를 따라잡기 위한 것으로,연구개발프로젝트를 통해 국제표준으로 자리매김이 가능한 기술을 집중 개발하여 장비산업의 체질을 강화할 계획이다.
현재 일본은 12인치웨이퍼의 표준화작업을 국제차원에서 추진하고 있는 반면,제조장비시스템은 부품및 장비업체들의 자의에 맡겨져 표준화율이 매우낮은 상태이다.
일본 공업기술원은 이번 프로젝트를 통해 제조라인 등의 표준화와 관련한업계 공통인식의 토양을 제공할 방침이다. 위원회는 표준체계화,반도체제조시스템및 소비에너지등의 3부분으로 나누어 업무를 추진할 방침이다.
<심규호 기자>