유니온산업(대표 김경균)이 반도체 제조공정에서 독성화학가스를 정화해주는 드라이 가스스크러버를 본격 생산한다.
유니온이 지난 94년 말부터 1년여동안 공업발전지원기금과 삼성전자의 지원금 등 총 8억원을 들여 개발에 성공한 이 제품은 반도체 가공시 발생하는납, 구리, 비소, 수은 등 각종 독성물질을 전기연소, 분진형태의 가검물로정화처리해 검출물에 포함된 각종 유해 성분을 규제치의 10% 이하로 줄여 일반폐기물로 처리할 수 있도록 하는 제품이다.
또한 이 제품은 공냉식이어서 기존 수냉식 제품이 안고 있던 처리과정에서발생하는 독성 연기로 인해 기기가 부식되는 문제가 없으며 2차 반응물 처리비용도 대폭 절감할 수 있다.
유니온산업은 이 제품을 1차로 삼성전자의 기흥 8라인에 약 60대를 공급키로 하는 등 올해 1백대 이상을 판매할 계획이며 국내와 미국, 일본, 대만에국제 특허를 출원하고 수출에도 본격 나설 계획이다.
김경균 사장은 『이 제품의 내수판매 가격이 대당 3천5백만~4천5백만원선으로 1억원대인 수입품에 비해 높은 가격 경쟁력을 지니고 있으며 내년에는이의 3분의 1 미만으로 가격을 줄인 보급형 스크러버를 개발, 일반 산업체에도 보급할 계획』이라고 말했다.
유니온산업은 지난 88년 설립 이후 스핀드라이어, IPA증기건조장치, 웨트스테이션 등을 순수 국내기술로 국산화한데 이어 올들어 가스스크러버분야에진출하면서 일본산소에 화학처리 방식의 가스스크러버 1백만달러어치를 역수출한 바 있다. 유니온은 올해 개스스크러버 등의 신규품목이 인기를 끌면서지난해 95억원의 매출을 올린데 이어 올해는 1백50여억원의 매출을 예상하고있다.
<정영태 기자>