<웨이브> 웨이퍼 재생

반도체산업을 흔히들 「청정산업」이라고 말한다.

그러나 반도체공장은 화학공장이라고 말해도 좋을 정도로 각종 유독 화학약품과 가스를 사용하는 공정이 많다. 그 때문에 혹자는 독한 약품과 가스 속에서 가장 청정한 상태를 요구하는 반도체가 만들어지는 것을 탁한 연못에서 연꽃이 피어나는 것에 비유하기도 한다.

특히 웨이퍼 가공공정의 대부분은 「운동장에 모래알 몇 개」가 있어도 안될 정도의 무진(無盡)상태를 요구한다. 웨이퍼에 형성시키는 회로가 그야말로 거미줄보다 가느다랗기 때문에 일상에서 무시되는 보이지 않는 먼지도 마치 도로에 바위가 있는 것 같은 악영향을 미치기 때문이다.

그 때문에 반도체업체들은 반도체 공정라인에서 「끊임없이 파티클(粉塵)을 만들어내는 유기체인 「사람」을 추방하는(?) 노력을 지속적으로 기울이고 있다. 실제로 최근 건설된 반도체 가공라인들은 핵심공정의 상당부분을 무인자동화해 공정라인 사진에 사람은 보이지 않고 「스타워즈」의 보조 로봇과 같은 운반로봇만이 덩그렇게 나와 열심히 작업하는 모습을 기대했던 언론관계자들을 실망시키는 경우도 있었다.

특히 반도체의 원재료인 실리콘웨이퍼의 경우 엄청나게 까다로운 청정도와 조건을 요구하는 것으로 정평이 나있다. 그런데 최근들어서는 반도체업체들이 한번 사용한 웨이퍼를 다시 한번 재생해서 사용하는 경우가 늘고 있다고 한다. 라인에 투입됐다가 불합격됐거나 테스트용으로 사용했던 웨이퍼의 기가공된 표면을 말끔하게 갈아내서 다시 사용할 수 있도록 한 재생 웨이퍼는 반도체 장비나 라인의 상태를 체크 또는 조율할 때 투입하는 테스트 모니터용으로 사용이 한정되기는 하지만 리사이클링 과정에서 파티클에 오염될 가능성이 높아 과거 호황 때는 거의 사용하지 않았었다.

품질을 이유로 재생 웨이퍼 사용을 꺼려 왔던 반도체 3사가 최근 시황위축에 따른 원가절감을 위해 이의 사용을 확대하고 있으며 이로 인한 시장확대를 겨냥해 그간 일본업체가 독점해 온 이 시장에 참여하려는 국내업체도 늘고 있다고 하니 반도체의 어려움이 여기서도 느껴지는 듯하다.