반도체장비업체인 도쿄일렉트론코리아가 8인치 웨이퍼용 감광수지(resist) 도포 및 현상장비(모델명 CLEAN TRACK ACT-8)를 이달 중순부터 본격 공급한다.
이 장비는 반도체 제조공정의 사진제판 과정중 웨이퍼에 감광수지를 도포한 후 현상하고 이를 다시 굽기과정(bake)을 통해 건조시키는 도포 및 현상기계다.
이 ACT-8제품은 스피너(spinner)를 2단으로 쌓을 수 있도록 설계돼 작업실 면적을 30%이상 축소 가능하도록 했으며 새로운 감광수지 도포방식을 도입, 재료소비량도 종래의 3분의 1 수준으로 절약할 수 있다. 또 웨이퍼 현상과정에서 생기는 잔존가스를 완전히 제거함으로써 현상결함을 최소화함과 동시에 시간당 최대 1백20개의 웨이퍼 처리가 가능하다.
〈주상돈 기자〉