박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD)의 표출화면 불량여부를 검사하는 TFT LCD의 화상 신뢰성 검사장비 시장선점 경쟁이 치열하다.
19일 업계에 따르면 반도체장비 업체들이 최근 반도체 불황에 대응하고 사업다각화를 꾀하기 위해 LCD장비 시장에 눈을 돌리고 있는 가운데 특히 평창하이테크, 미래산업, 한텍 등이 상대적으로 시장성이 높은 TFT LCD용 검사장비를 잇따라 국산화하거나 개발을 가속화하고 있어 시장선점 경쟁이 가열되고 있다.
이는 삼성, 현대, LG 등이 잇따라 TFT LCD 제조공장을 설립하거나 증설하고 있어 향후 국내 관련장비 시장이 대폭 확대될 전망인 데다 이 장비가 CVD, 스크러버, 스피너 등 박막제조 관련장비 및 노광, 포토레지스터 등 TFT LCD조립 관련장비에 비해 적은 투자로 개발, 생산이 용이하기 때문으로 풀이된다.
반도체장비 전문업체인 평창하이테크는 지난해부터 개발에 들어가 최근 3천핀대 일괄 프로브 유닛을 채용한 TFT LCD 패널 자동화상검사시스템을 국산화하고 1호기를 삼성전자에 공급했다. 이 장비는 워크테이블의 해상도를 기존 1미크론에서 0.5미크론으로 향상시켰으며 최대 16인치 제품에까지 사용할 수 있는 최신 장비다.
그동안 반도체 후공정 필수장비인 테스트 핸들러를 주로 생산해온 미래산업도 반도체장비를 제작해온 노하우와 기술력을 바탕으로 TFT LCD의 화면 불량여부를 검사할 수 있는 검사장비를 개발했다. 미래산업은 이 장비의 성능을 대폭 보강해 기존 육안으로 확인하는 방법에서 컴퓨터 모니터링을 통해 자동검사할 수 있는 제품을 내년까지 국산화할 방침이다.
올해 반도체용 소터를 국내에서 처음으로 국산화한 한택은 공업기반 기술과제의 하나로 TFT LCD는 물론 PDP 등 초정밀 대형화면용 표면화상 검사시스템을 오는 98년 초까지 개발할 계획이다. 이를 위해 한택은 5명으로 구성된 별도의 국산화팀을 만들고 검사장비분야의 세계적인 업체인 일본의 구보텍社와 올 초에 기술제휴를 맺은 바 있다.
업계에서는 특히 LCD용 검사장비의 국산화 개발이 활기를 띠고 있는 것에 대해 『다른 장비에 비해 LCD 패널 크기에 크게 영향을 받지 않으며 대면적화에 대응해 쉽게 업그레이드가 가능한 데다 전공정 핵심장비에 비해 공급가능성도 높기 때문』이라고 설명했다.
국내 TFT LCD 검사장비 시장은 올해 5백억원(세계시장은 2천억원), 내년에는 이보다 50∼60% 성장한 8백억원에 달할 것으로 업계는 추산하고 있다.
<강병준 기자>