첨단 반도체 생산장비에 들어가는 각종 컨트롤러 및 공정제어시스템의 국산화 추진이 활발하다.
26일 관련업계에 따르면 최근 국내 주요 반도체 제어시스템 개발업체들을 중심으로 에처, CVD, 스퍼터와 같은 첨단 반도체 장비의 핵심 컨트롤러와 통합 감시시스템, 클러스터 툴 등 반도체 제조공정 전반에 적용되는 각종 자동제어기술의 국산화 움직임이 본격화되고 있다. 이는 첨단 반도체 제조장비의 개발을 위해서는 먼저 이에 들어가는 컨트롤러의 국산화가 필수적인 데다 향후 3백㎜(12인치) 웨이퍼의 도입으로 반도체 제조공정 전체가 완전 자동화될 경우 생산라인을 움직이고 검사하는 공정제어기술의 확보문제가 경쟁력을 크게 좌우할 것으로 전망되기 때문이다.
16MD램 반도체 생산라인용 통합감시시스템과 가스캐비닛용 컨트롤러를 개발한 바 있는 세종정보통신은 최근 LCD 생산라인용 통합시스템의 출시와 함께 국책 G7프로젝트 중의 하나인 CTC(Cluster Tool Controller)시스템을 현대전자 및 PSK테크社와 공동 개발중이다. 또한 차세대 반도체 장비를 위한 객체지향형 프로그램 기법(OOP)의 첨단 분산제어시스템을 국산화한다는 목표아래 최근 정보통신부에 우수 신기술 선정을 신청했다. 한국전자통신연구소 출신 연구원들이 94년 설립한 코닉시스템은 지난 6월 에처 및 MOCVD의 컨트롤러를 국산화한 데 이어 향후 클러스터 툴의 각종 제어시스템 및 SEMI표준의 통신 프로토콜 소프트웨어 개발과 실시간 멀티태스킹 공정제어기술의 개발에 중점 투자할 방침이다. 또한 안정된 제어시스템 공급을 목표로 국산 장비에 맞는 표준화한 범용 공정제어 프로그램의 국산화도 병행해 추진할 계획이다.
반도체용 모니터링 시스템 전문업체인 네콘시스는 LAN을 통해 분산된 각종 설비들을 종합 관리하는 통합모니터링시스템(TMS)을 개발, 최근 현대와 LG의 반도체 생산라인에 설치 완료한 데 이어 내년에는 생산현장에서 뿐만 아니라 사무실에서도 호스트 컴퓨터를 이용해 각종 생산 설비들을 감시할 수 있는 통합 3D모니터링 시스템도 공급할 방침이다.
이밖에 삼성데이타시스템, 현대정보통신, LGEDS 등 국내 주요 SI업체들 또한 자사 계열의 반도체 생산공장에 들어갈 각종 공정제어시스템의 개발을 추진중인 것으로 알려져 반도체 장비용 컨트롤러 및 공정제어시스템의 국산화가 본격화될 전망이다.
<주상돈 기자>