알카텔진공코리아(대표 장행익)는 소음 및 진동을 극소화한 자기부상형 터보 펌프 「ATH 400M/1000M」<사진>을 공급한다.
진공도 8×10mbar의 이 장비는 기존 베어링 대신 자기부상형 로터를 채용, 진동 레벨 간격이 0.01미크론 이하이며 39A 이하의 저소음으로 작동한다.
또한 탄화수소계 윤활유를 사용하지 않아 터보 펌프에 의한 시스템 오염을 최소화했으며 자동 밸런스 시스템의 도입으로 각종 가스 불순물로 인한 흔들림 및 틀어짐을 방지한 것이 특징이다.
<주상돈 기자>