한택이 액정표시장치(LCD) 제조공정에서 액정기판의 결함여부를 자동으로 검사할 수 있는 표면결함 검사장비를 국산화했다.
반도체장비 전문업체인 한택(대표 한종훈)은 그동안 전량 수입에 의존해 오던 LCD생산라인에서 화상의 패턴을 검사해 자동으로 결함여부를 확인할 수 있는 표면검사장비를 최근 개발, 최종 신뢰성 검사를 진행중이라고 28일 밝혔다.
이 회사가 개발한 LCD용 표면검사장비는 CCD센서로부터 입력되는 8비트 아날로그 화상신호를 DSP기술을 이용해 디지털신호로 전환하고 결함 특성별로 처리한 후 결함정보를 그래픽용 메모리 모듈에 전송, 리얼타임으로 화상검사가 가능한 최신장비다. 이 장비는 특히 6백×7백㎜ 크기의 대면적 LCD에 적용 가능하고 기존 전기적 방법이 아닌 광학적 방식을 적용해 검사속도를 최고 5배로, 결함신호 표시정도를 2백56 그레이스케일 이상으로 향상시켰다.
또한 비교법, 미분법, 차분법중 한가지만 채용해 마이크로, 매크로 결함의 동시 검출처리가 불가능한 기존 외산장비와 달리 이 장비는 2개의 화상 필터링 모듈을 병렬로 구성함으로써 마이크로, 매크로 결함을 동시에 선별, 검출할 수 있다. 통상 기존 장비들이 16MB의 화상 메모리를 갖추고 있는 것과 달리 이 제품은 5백12MB의 대용량 메모리를 채용, 3만×3만5천 픽셀을 동시에 검사할 수 있다.
한종훈 사장은 『올해 LCD시장에서만 약 5백억원(40∼50대) 정도의 수입대체 효과가 기대되며 특히 PDP, 섀도마스크 등 평판디스플레이 분야, 박막금속/필름 등 초정밀 평판분야로도 응용이 가능해 국내 디스플레이 장비산업의 경쟁력 제고에 일조할 것』으로 기대했다.
<강병준 기자>