국내 반도체용 터보 진공펌프 수요가 급증하고 있는 가운데 성원에드워드, 알카텔진공코리아, 라이볼트 등 주요 공급업체들이 모두 천안3공단에 생산공장 건설을 추진, 터보펌프의 조달이 한층 편리해질 전망이다.
국내 최대의 반도체용 펌프 공급업체로 지난 94년부터 천안2공단 소재 공장에서 영국 에드워드社의 드라이펌프를 조립공급해 온 성원에드워드는 그동안 완제품 형태로 공급해 온 일본 세이코세이키社 터보펌프의 국내 조립생산을 위해 지난해 확보한 천안3공단 소재 2천평의 부지에 제2공장을 건설키로 방침을 정하고 착공시기를 논의중인 것으로 알려졌다.
진공 관련장비 및 계측기 전문회사인 알카텔진공코리아도 천안3공단 1천평의 부지에 월 50대 생산규모의 터보펌프 전용공장을 건설키로 하고 늦어도 올 하반기에는 착공에 들어갈 방침이다.
라이볼트도 같은 장소인 천안3공단 내에 3천평의 부지를 이미 확보하고 펌프 전용공장 건설을 위한 설계 및 건설업체 선정작업을 추진중인 것으로 알려졌다. 이 회사는 올해 5백평 규모의 공장을 1차로 건설한 후 시장상황에 따라 계속 증설할 계획이다.
이처럼 주요 터보펌프 업체들이 천안공단에 잇따라 공장을 신, 증설하고 있는 것은 이 곳이 펌프의 주수요처인 반도체 소자 및 장비업체들과 지리적으로 가까운 데다 이들이 모두 외국 합작회사이기 때문에 천안3공단내 외국인 전용공단에 입주할 경우 임대료 할인 및 각종 세제혜택을 받을 수 있기 때문으로 보인다.
터보 진공펌프는 그동안 사용돼 온 드라이 진공펌프보다 강력한 진공능력을 제공, 보급이 빠르게 늘고 있는 반도체장비 부품이다.
<주상돈 기자>