반도체장비 업체인 청송시스템(대표 서성기)이 에처 및 CVD사업을 본격화한다.
이 회사는 최근 64MD램 이상에 대응할 수 있는 건식 에처장비 「버팔로 8000P」를 개발, 국내 S社에 시험납품한 데 이어 내달 3일부터 5일까지 KOEX에서 열릴 97세미콘코리아 반도체장비, 재료 전시회에서 이 제품을 공개하고 본격적인 생산에 돌입할 방침이라고 29일 밝혔다.
웨이퍼 식각공정에 사용되는 이 장비는 균일한 플라즈마의 형성을 위해 유도결합형 헬리콘파 플라즈마 소스를 채택했으며 듀얼 카세트 방식으로 시간당 45장 이상의 웨이퍼를 처리할 수 있다.
이 회사는 또한 그동안 추진해 온 HD-CVD의 개발도 이미 완료하고 현재 자체 테스트중인 것으로 알려져 올 상반기에는 이 시장진출도 가시화할 것으로 전망된다.
현재 제품생산의 최종단계로 클러스터 툴 등 각종 제어시스템의 SW 및 HW 개발을 추진중인 청송은 올해 회사 자본금을 5억원에서 20억원으로 늘리고 이를 통해 제품생산에 필요한 생산 및 연구인력을 대폭 확충하는 한편 4천평 이상의 신규공장도 건설할 방침이다.
<주상돈 기자>