국내에도 금속산화물(MOS)용 에피(Epitexial) 웨이퍼시장이 본격 형성될 전망이다.
5일 관련업계에 따르면 삼성, 현대, LG, 아남 등 국내 주요 반도체생산업체들은 기존 실리콘 웨이퍼에 비해 수율과 생산성이 우수한 에피 웨이퍼를 3세대 64MD램과 DSP 등 차세대 소자 생산시 본격 채용한다는 방침을 세우고 최근 에피 웨이퍼 수급선 및 가공기술 확보를 적극 추진중인 것으로 알려졌다.
올 하반기 이후 부천공장을 본격 가동할 계획인 아남은 주력제품인 DSP용 웨이퍼로 에피를 채용하기로 하고 1, 4분기에 공급선을 확정할 방침인데 이 회사의 소요 물량은 올해 1만8천장에 이어 98년 10만장, 99년 20만장에 달할 것으로 전망된다.
반도체 3사도 64MD램 3세대 제품 및 2백56MD램 초기제품 양산부터 에피 웨이퍼를 채용하기로 내부방침을 정하고 올들어 에피 웨이퍼 검사 및 가공장비를 보강하고 있다.
특히 삼성전자는 올 상반기 알파칩 양산에 에피 웨이퍼를 본격 투입하기로 하는 한편 64MD램 3세대 제품부터 에피 웨이퍼를 부분 사용하기로 하고 기흥 RS라인에 관련설비를 구축중이다. 삼성은 이르면 98년 25만장을 사용하는 것을 시작으로 자사 수요가 매년 2배 이상씩 증가할 것으로 예상하고 있다.
LG와 현대도 64MD램 3세대 제품부터 에피 웨이퍼를 채용한다는 전략 아래 98년부터 각각 월 5천장 수준의 시생산을 거쳐 99년 월 3만장선으로 본격 채용을 시작하고 향후 매년 2배 이상씩 사용량을 늘릴 계획이다.
에피 웨이퍼는 기존 실리콘웨이퍼 위에 리액터를 이용해 결함이 없는 실리콘 박막을 입힌 제품으로 실리콘웨이퍼에 비해 넷다이와 수율이 약 10% 우수한 것으로 평가받고 있다. 이에 따라 NEC, 도시바, 후지쯔, 미쓰비시 등 대다수 일본업체들은 64MD램부터 이 제품을 사용해 오고 있다.
그간 국내업체들은 에피 웨이퍼가 기존 제품에 비해 최고 50%이상 값이 비싸고 웨이퍼의 수급 안정성도 상대적으로 떨어진다는 점에서 본격 채용을 미뤄왔다. 그러나 최근 2백 양산용 웨이퍼를 기준으로 한 장당 1백90달러를 호가하는 웨이퍼가 시장이 본격 확대될 경우 1백50달러 이하로 내려갈 것으로 보여 수율 및 생산성을 고려하면 에피 웨이퍼를 사용하는 것이 경쟁력을 확보하는데 도움이 될 것으로 보고 이의 채용을 적극 확대하고 있다.
국내 반도체생산업체들은 이에 따라 올들어 MEMC, 신에쓰, 스미토모, 바커 등 대형 웨이퍼업체들과 에피 웨이퍼 장기공급을 타진중인 것으로 알려졌다.
<김경묵 기자>