에어리퀴드, 온사이트 약품 공급시스템 영업

반도체용 약품업체인 에어리퀴드코리아서비스(대표 베르나르 데노)가 현장생산방식(On Site)의 초고순도 약품 공급시스템 영업을 본격화한다.

이 회사는 최근 웨이퍼 생산업체인 LG실트론과 온 사이트 약품 공급계약을 체결하고 오는 4월 암모니아 및 과산화수소 공급을 위한 설비 공사에 착수하는 한편 이를 계기로 소자 및 웨이퍼 생산업체들을 대상으로 이 시스템의 영업을 본격화할 방침이라고 10일 밝혔다.

LG실트론 구미공장에 설치 예정인 이 시스템은 암모니아수 공급 장비인 「AHS-4000」과 과산화수소 정제 장비인 「H202-2000」 등 두가지 모델로 공사가 완료되는 오는 99년에는 연 2천톤 규모의 화약약품 공급이 가능케 된다.

프랑스 에어리퀴드社의 온 사이트 약품 공급시스템은 원료저장탱크 및 화합물 제조기를 이용, 각종 고순도 약품을 생산 현장에서 즉시 공급받을 수 있도록 하는 새로운 형태의 시스템으로 약품 공급과 보관에 따른 비용 및 위험 부담을 최소화할 수 있는 것이 장점이다.

베르나르 데노 사장은 『이 시스템은 국내에서 생산되는 일반 공업용 원료를 이용해 초고순도 약품을 자체 생산할 수 있게 함으로써 결과적으로 반도체용 화학약품의 국산화도 가능케할뿐만 아니라 약품 보관에 따른 2차 오염도 방지할 수 있다』고 강조했다.

<주상돈기자>