미래산업, 반도체 전공정장비 시장 참여.. 美AIO와 협력으로

반도체 테스트장비업체인 미래산업(대표 정문술)이 반도체 전공정 장비시장에 진출한다.

미래는 미국 전공정 장비업체인 AIO마이크로서비스社와 51대 49의 비율로 오는 6월까지 국내에 「미래AIO(가칭)」社를 합작설립하고 하반기부터 디스플레이용 클리닝장비 및 코터, 트랙장비 등을 생산할 방침이라고 20일 밝혔다.

미래산업은 이를 위해 AIO社에 4백만달러를 투자해 이 회사의 총주식 88만주 가운데 13.64%인 12만주의 지분을 획득했다.

정문술 사장은 『합작법인은 당분간 신제품 개발과 세계시장 판매는 AIO가 맡고 생산 및 국내판매는 미래가 담당하는 식으로 역할을 분담해 나갈 계획』이라고 설명하고 또한 향후에는 AIO의 주력제품인 반도체용 코터 및 디벨로퍼,스크러버 등 전공정 장비들도 본격 생산할 방침이라고 덧붙였다.

AIO社는 지난 88년 미 실리콘밸리에 창립,그간 8인치 웨이퍼용 코터, 디벨로퍼,스크러버를 생산해왔으며 최근에는 현대전자의 트랙장비를 수주한 전공정 장비 전문생산업체로 지난해 3천만달러의 매출을 올린 것으로 알려졌다.

<김경묵 기자>