반도체 생산과정에서 발생하는 각종 유독가스의 정화처리시설인 가스스크러버 시장 참여업체가 급증하면서 제품도 다양해지고 있다.
25일 관련업계에 따르면 반도체 공정중 에칭 및 증착과정에서 주로 발생하는 과불화 화합물 등 각종 유독가스로 인한 환경파괴 문제가 최근 「국제 반도체 환경 안전회의」의 주요 이슈로 상정되는 것을 비롯, 이에 대한 국내외 반도체 업체들의 관심이 고조되면서 국내 반도체장비 업체는 물론 외국 업체들의 가스스크러버 출시가 붐을 이루고 있다.
특히 한국MAT, 한국파이오닉스, 유니온산업, 다산씨앤드아이 등 최근 가스스크러버의 국산화에 성공한 업체들이 올해부터 본격적인 제품양산에 돌입한 가운데 성원에드워드, 한국에바라정밀, 알카텔진공코리아 등 외국 진공펌프 업체들 또한 스크러버시장 진출 및 국내생산 확대를 추진중이어서 국내시장을 둘러싼 공급경쟁도 더욱 치열해질 전망이다.
지난해 번 인(Burn in)과 웨(Wet) 타입의 2가지 가스처리 방식을 동시 수행하는 소형 가스스크러버 「MAT153」을 개발한 한국MAT는 올해 상반기까지 6천평 규모의 양산공장을 건설, 국내 및 해외시장 개척을 본격화할 계획이다.
국내 반도체장비 업체인 케이씨텍과 일본 파이오닉스社의 합작사인 한국파이오닉스는 유독가스와 특수약품의 화학작용을 이용한 드라이 방식의 가스스크러버를 개발, 본격적인 공급에 나섰다. 그리고 다산씨앤드아이도 이와 유사한 방식의 가스스크러버를 개발, 수원 제1공장의 양산라인을 통해 생산중이다.
가스 및 세정장비 전문업체인 유니온산업은 납, 수은 등 각종 독성물질을 유해성분이 거의 없는 분진형태의 가검물로 정화함으로써 일반 폐기물화할 수 있는 스크러버를 개발, 공급하는 한편 올해는 기존 장비들에 비해 가격이 훨씬 저렴한 보급형 스크러버도 선보일 예정이다.
또한 드라이펌프 전문업체인 성원에드워드가 CF4, C2F6 등과 같은 프레온가스의 처리효율이 80% 이상인 번 인 방식의 가스스크러버 「TPU」를 생산, 공급하기 시작한 데 이어 한국에바라정밀도 오는 상반기 평택공장의 완공과 함께 본격적인 스크러버 생산에 돌입할 방침이다.
이밖에 한국DNS가 지난 94년 웨 방식과 포그(Fog) 방식을 결합한 스크러버를 선보이고 이미 이 시장에 진출한 상태이며 진공 관련장비 업체인 알카텔진공코리아도 현재 스크러버의 국내공급을 추진중이다.
이같은 스크러버 출시 붐과 관련, 업계의 한 관계자는 『일본 등 외국에서는 각 반도체 제조공정별로 독특한 방식의 가스정제 장비들이 다양하게 출시되고 있으며 향후에도 그린라운드 등 환경문제에 대한 관심증가와 더불어 스크러버의 다양화 추세는 계속될 것』으로 전망했다.
<주상돈 기자>