TFT LCD용 스퍼터링 타깃 국내생산 활기

그동안 수입에 의존해온 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD)용 스퍼터링 타깃의 국내생산이 활기를 띠고 있다.

11일 관련업계에 따르면 존슨매티코리아, 한국토소, MRC코리아 등 외국 업체의 국내 현지법인 및 합작 업체들은 물론 LG금속, 희성금속, 미경사 등 국내 업체들이 TFT LCD용 박막증착 재료인 스퍼터링 타깃 시장이 확대되고 있는 데 대응, 올 들어 ITO(Indum Tin Oxide) 제품을 중심으로 시장선점을 위한 생산라인 구축에 앞다퉈 나서고 있다.

지난해 미국 라이볼트머티리얼스(LMI)社와 손잡고 충북 음성 인근에 ITO 제품 가공공장 건립을 추진해온 존슨매티는 올 상반기까지 생산라인 구축을 완료하고 하반기부터 본격적인 양산에 돌입할 계획이다.

그간 알루미늄 타깃 생산에 주력해온 한국토소와 MRC코리아도 각각 10억원과 30억원을 들여 송탄과 천안3공단에 ITO 및 알루미늄 타깃 가공라인을 신축하고 내년부터 TFT LCD용 타깃을 본격적으로 공급한다는 전략이다.

반도체 재료사업 강화에 나서온 LG금속은 LCD용 타깃 시장에 진출한다는 전략을 세우고 올해 우선 용인연구소에 월산 3백개 규모의 파일럿 라인을 구축할 예정이다.

LG금속은 특히 타깃 시장 참여를 위해 지난 93년부터 공업기반기술 개발자금 지원을 받아 LCD용 ITO 타깃을 개발한 데 이어 최근에는 디스프레이연구조합과 알루미늄 및 크롬 타깃을 개발완료, LG반도체를 비롯한 소자업체들의 품질인증을 진행중이다.

희성금속과 미경사도 시장다변화를 위해 LCD용 제품 개발이 시급하다고 보고 골드 타깃에 이어 연내 ITO 제품을 개발, 내년 상반기까지 별도의 생산라인을 구축할 계획이다.

이밖에 헤라우스도 인천공장에 내년 상반기까지 타깃 생산설비를 갖출 예정이어서 98년 이후에는 LCD용 타깃 국내 생산업체가 5, 6개 업체를 넘어설 전망이다.

그간 LCD용 타깃은 저팬에너지, 미쓰이, VMC 등 일본 계열 업체들이 전량 공급해 왔다.

반도체협회의 한 관계자는 『최근 재료업체들이 LCD용 타깃 생산에 적극 나서는 것은 가격하락과 감산 등으로 반도체 관련 수요가 정체돼 있는 반면 투자가 집중되고 있는 LCD분야는 시장성이 크다는 판단에 따른 것』으로 분석하고 특히 ITO 제품은 부가가치가 크고 투명전극 특성이 뛰어나 노트북PC, 벽걸이TV, 자동차 계기판 등 여러 분야로 채용이 확대되고 있어 올해만도 전체 타깃 시장의 25%인 1천만달러의 시장을 형성할 것으로 내다봤다.

<김경묵 기자>