국내 반도체 장비 업계에 플라즈마 소스 수급 비상이 걸렸다.
27일 관련업계에 따르면 일본의 반도체장비업체인 도쿄일렉트론(TEL)이 최근 세계적인 고밀도 플라즈마 소스 공급업체인 미국의 프로텍社를 인수하며 이 제품의 기술 특허 검토 등을 이유로 지난 4월경부터 플라즈마 소스 공급을 일시 중단한 후 최근 가격을 올려 다시 공급하기 시작하자 국내는 물론 해외 반도체장비 업체들의 불만과 우려가 크게 일고 있다. 플라즈마 소스는 에처나 CVD와 같은 전공정 반도체 장비에 부착돼 증착 및 에칭 공정에 필요한 플라즈마 환경을 만들어 주는 전공정 반도체 장비의 핵심 모듈로 특히 반도체의 고집적화 추세에 힙입어 수요가 급증하고 있는 고밀도 플라즈마 소스는 그동안 미국 프로텍이 전세계 수요의 대부분을 공급해 왔다.
이에 따라 그동안 프로텍의 플라즈마 소스를 사용해온 국내 C社와 A社는 물론 해외 L社 등 대부분의 에처 및 CVD 생산업체들은 이번 사태가 플라즈마 관련 장비시장에서의 독점적 위치를 확보하려는 TEL의 의도성도 배제할 수 없다고 보고 대책을 강구중이다. 업체 관계자들은 『TEL이 장비 수요업체인 소자 생산업체들의 요구가 있을 경우에만 플라즈마 소스를 공급하고 개별 장비업체들에게는 가능한 공급을 제한할 기미를 보이고 있어 최근 본격화되고 있는 국내 반도체 장비업체들의 전공정 장비 개발 및 생산에 결정적인 악재로 작용할 가능성도 배제할 수 없다』고 우려하고 있다.
실제로 국내 C社는 최근 플라즈마 소스의 수급 문제로 일부 생산장비의 공급이 연기되는 등 생산이 차질을 빚자 TEL 본사에 관계자를 급파해 제품 공급에 대한 협조를 요청, 기존 보다 높은 가격에 제품을 공급받고 있는 것으로 알려지고 있다.
이에 따라 국내 업체들 사이에는 이번 사태를 계기로 고밀도 플라즈마 소스의 국산화도 본격 추진돼야 한다는 주장이 일면서 현재 에처의 생산을 준비 중인 A社의 경우 국내 P 공과대학의 플라즈마 관련 전문 연구팀과 공동으로 고밀도 플라즈마 소스의 개발을 추진중이다. 국내 업체의 한 관계자는 『그동안의 유사한 사례들을 검토해 볼때 이번 플라즈마 소스 문제도 핵심 기술을 무기화해 이 시장에서 독점적인 위치를 확보하려는 관련 업체의 전략적인 의도가 다분하다』며 『이런 경우일수록 국내 반도체 장비 업체는 물론 소자 업체들까지도 협력해 적극 대응해 나가야한다』고 강조했다.
한편 TEL코리아의 한 관계자는 『이번 플라즈마 소스 공급 문제는 본사 차원에서 새로운 회사를 인수하며 기술 특허 등 관련 사항을 검토하는 과정에서 일부 제품의 공급이 차질을 빚은 것이 공급 중단으로까지 와전된 것 같다』고 밝히고 『공급 조절을 통해 시장을 장악하겠다는 전략 차원의 문제는 결코 아닌 것으로 안다』고 말했다.
<김경묵·주상돈 기자>