국내 반도체장비 전문업체인 케이씨텍과 일본 고요린드버그사의 합작법인인 한국고요린드버그가 전공정 핵심장비인 수직형 퍼니스(확산로) 및 관련 부품의 국내 생산을 본격 추진한다.
한국고요린드버그(대표 고석태)는 반도체 생산 확대에 힘입어 매년 큰 폭으로 늘고 있는 퍼니스의 국산대체를 앞당기기 위해 최근 안성 2공단내 대지 1천2백50여평을 확보하고 기공식과 함께 퍼니스 전용생산공장 건설을 시작했다고 24일 밝혔다.
건평 4백60평 규모에 클래스 100수준의 클린룸을 갖추게 될 이 공장은 연말경 완공돼 98년 초부터 조립생산에 들어갈 예정인데 우선 히팅부문의 무게를 가볍게 설계한 LGO히터를 채용해 온도 상승 및 하강시 안정화 속도가 다른 퍼니스보다 2배 정도 빠르며 저온 영역에서 제어성이 뛰어난 고요린드버그社의 「VF5300」시리즈를 주력생산하게 된다.
한국고요린드버그는 이를 위해 앞으로 2년간 20억원을 집중투자해 프로세스 테스트 및 차세대설비 개발을 위한 클래스 10 수준의 데모룸을 별도로 확보하는 한편 고요사로부터 설계 및 제작기술을 이전받아 독립적인 생산체계를 구축해 5년내에 부품국산화율을 80%까지 끌어올릴 계획이다.
작년 4월 초 케이씨텍과 일본 고요사가 50 대 50의 비율로 합작설립한 총자본금 15억원의 「한국고요린드버그」는 그동안 케이씨텍 안성공장에서 퍼니스 주요 부품의 개발 및 소량 조립생산을 진행해 왔다.
수직형 퍼니스는 대당 가격이 5억원 정도로 2백㎜(8인치) 웨이퍼 일관가공 생산라인 기준으로 라인당 80∼1백개 정도 소요돼 올해 국내시장만도 약 1천억원을 상회하는 대규모시장으로 그동안 거의 전량을 일산에 의존해 왔다.
한편 케이시텍은 현재 현대전자와 공동으로 G7과제의 하나로 수직형 퍼니스 개발사업을 수행하고 있는데 이번 합작공장 건설로 향후 멀티챔버를 이용한 제품과 3백㎜ 웨이퍼시대에 대응할 수 있는 제품개발이 한층 용이해질 것으로 기대하고 있다.
<김경묵 기자>