한국DNS(대표 김광교)가 감광액도포현상기(스피너),자동표면세정장치(웨트스테이션),가스처리장비(스핀스크러버) 등 총 2천6백만달러 상당의 반도체전공정 핵심장비를 미국에 본격 수출한다고 1일 밝혔다.
이번에 수출되는 장비는 약 3년간의 국산화 과정을 거쳐 삼성전자, 현대전자, LG반도체, 아남산업 등에 공급됐고 미국 반도체장비 안전규격인 S293승인을 받는 등 제품력을 대내외에 인정받은 장비로 이처럼 국내업체가 전공정 반도체장비를 완제품 형태로 미주시장에 수출한 것은 이번이 처음이다.
지난 93년 삼성전자와 일본 DNS가 합작으로 설립한 이 회사는 현재 가동중인 충남 천안 제1공장을 통해 감광액 도포 현상기 및 자동 표면 세정장비 등을 주로 생산하고 있으며 오는 9월에는 각종 LCD 장비를 생산할 제2공장도 완공할 예정이다.
<김경묵 기자>