반도체용 웨이퍼의 대구경화 및 회로기술의 미세화 추세에 힘입어 이소프로필알코올(IPA) 증기 건조기가 기존에 주류를 이뤘던 스핀 건조기를 밀어내며 웨이퍼 건조기시장의 주력으로 빠르게 자리잡고 있다.
9일 관련업계에 따르면 16MD램 제조시부터 도입되기 시작한 IPA 증기 건조기가 최근 국내 주요 소자업체들이 추진하는 64MD램 및 비메모리 반도체 제조라인에 대부분 채택돼 기존 스핀 건조기를 완전 대체할 전망이다. 이에 따라 IPA 증기 건조기의 국내 수요도 올해에만 총 1백50대, 2백억원의 시장을 형성할 것으로 예상되는 등 빠르게 증가, 이를 둘러싼 국내외 업체간 공급경쟁도 본격화할 것으로 예상된다.
친수성 및 미세부분 침투성이 높으면서도 물보다 낮은 온도에서 증발하는 속성을 지닌 IPA를 사용한 IPA 증기 건조기는 물기를 원심분리법으로 건조하던 기존 스핀방식 건조기와 달리 웨이퍼 표면과 직접 접촉하지 않고 수분을 제거함으로써 정전기 및 얼룩 잔존으로 인한 불량발생의 우려가 적다.
이런 이유로 16MD램 3세대 이상의 고집적 반도체 제조에는 IPA 증기 건조기가 기본으로 채택되기 시작했다.
그동안 금영무역이 수입, 공급하는 일본의 김몬사 제품이 국내시장의 대부분을 차지해 왔다.
그러나 최근 국내 반도체 장비업체인 한주산업(대표 한봉섭)이 중기거점 개발사업의 하나로 IPA 증기 건조기를 국산화, 시장은 조만간 경쟁체제로 접어들 전망이다. 이 회사가 지난 3년간 총 5억원을 투자해 개발한 IPA 증기 건조기는 64MD램 양산에 대응할 수 있는 제품으로 최근 국내 주요 소자업체들에 시험의뢰, 성능을 인정받은 데 이어 하반기부터는 본격적인 양산을 시작해 국내 소자업체들에 공급은 물론 동남아지역 반도체 공장에 대한 수출까지 추진할 예정이다.
한 업체 관계자는 『IPA 증기 건조기는 반도체 생산라인뿐만 아니라 웨이퍼, LCD, 정밀광학 등 각종 산업분야에 응용가능해 국내외 수요는 갈수록 증가할 것으로 예상되며 이에 따른 국내외 업체간의 시장경쟁도 올 하반기를 기점으로 본격화될 것』으로 내다봤다.
<주상돈 기자>