반도체 패키징 공정중 에폭시 몰딩 작업후 리드프레임 부분을 세정하는 디플래셔(Deflasher) 장비의 국산 대체가 활기를 띠고 있다.
반도체장비 업체인 젯텍(대표 정재송)은 지난 95년 개발한 「워터젯 디플래셔」를 아남산업 등 반도체 조립 업체와 한국전자는 물론 삼성전자, 현대전자 등 국내 주요 소자업체에 연간 10대 이상을 납품, 불과 2년전만해도 전량 외산에 의해 의존하던 국내 수요 대부분을 국산대체했다고 19일 밝혔다.
이 회사가 생산하는 「워터젯 디플래셔」는 반도체 패키징 작업 완료후 리드프레임 상에 남아 있는 각종 수지 불순물들을 초고압의 물로 제거해 리드프레임의 도금 품질을 높이는 장치로 대당 평균 2억원의 고가 장비이다.
젯텍은 이 장비의 개발로 과거 일본의 후지 세이키 및 릭스社에 의해 주도되던 국내 시장은 지난해 이후부터 대부분의 신규 물량이 국산 장비로 대체됐으며 이는 금액으로 연간 50억원 규모에 달한다고 설명했다.
또한 이 회사는 현재 네덜란드 미코社에 의해 주도되고 있는 리드프레임용 도금(플레이팅) 장비 시장에도 본격 진출키로 하고 이미 관련 장비의 개발을 완료, 도금 작업전 세정 장비인 디플래셔와의 인라화를 통한 반도체 도금 공정용 종합장비도 곧 선보일 방침이다. 이를 위해 지난달 부천시 오정구에 연간 20대 규모의 디플래셔 및 도금장비 생산 설비를 구축, 이달부터 본격적인 가동에 들어갔다.
정재송 사장은 『현재 생산되는 디플래셔의 핵심 기능인 초고압 물 분사 및 연속 세척 등 대부분이 독자적인 특허 기술』이라고 말하고 『향후 이를 응용한 반도체 도금 공정용 종합 장비도 곧 선보임으로써 1백억원 규모로 추산되는 국내 반도체 도금 시장도 점차 국산 대체해나갈 방침』이라고 밝혔다.
<주상돈 기자>