반도체 웨이퍼 및 LCD 박막 세척에 사용되는 웨트스테이션 장비의 국내 개발 및 생산이 최근 본격화되고 있다.
30일 관련업계에 따르면 국내 웨트스테이션 생산업체인 한국DNS, 한양기공, 한주산업, 성도엔지니어링 등에 이어 최근 케이씨텍 및 피케이를 비롯한 여러 국내 업체들이 이 시장에 본격 가세함으로써 웨트스테이션 장비의 국내 생산 및 공급이 활기를 띠고 있다.
이에 따라 차세대용 웨트스테이션 장비라 일컫는 배치 및 카세트리스형 제품의 국내 개발이 최근 본격 추진되는 등 빠른 기술발전속도를 보이고 있으며 이들 장비의 국산 대체는 물론 동남아 및 미국 지역으로의 수출도 크게 확대될 전망이다.
국내 최대 웨트스테이션 생산업체인 한국DNS는 최근 8인치 웨이퍼를 최대 52장까지 동시 세정할 수 있고 사용 약품별로 처리 배스를 표준화한 장비를 자체 기술로 개발, 국내 공급한 데 이어 이를 미국에까지 수출했다.
지난해 4∼5인치 웨이퍼 겸용의 자동 웨트스테이션을 개발하면서 이 시장에 진출한 한양기공은 올해 카세트 없이 웨이퍼를 곧바로 세정함으로써 기존 장비보다 약품 사용량을 3분의 1 수준까지 줄인 카세트리스형 웨트스테이션의 개발을 추진, 늦어도 하반기까지는 시제품을 선보일 방침이다.
가스 및 진공 관련 전문생산업체인 케이씨텍도 최근 자동 웨트스테이션 장비를 개발하고 이를 국내 주요 소자업체에 공급한 데 이어 이번 대만 세미콘전시회에 이 장비를 출품하는 등 본격적인 해외수출에 나섰다. 또한 이 회사는 웨트스테이션 장비의 국내 생산확대를 위해 안성 제2공단내 1천평 부지에 대형 클린룸 설비를 갖춘 웨트스테이션 전용공장의 건설도 현재 추진중이다.
최근 반도체장비 시장에 신규 진출한 피케이는 한개의 체임버 내에 웨이퍼를 고정시키고 각 단계별로 다른 화학물질을 번갈아 주입시켜 기존보다 약품 사용량을 획기적으로 줄인 배치방식의 장비를 국내에 공급중이다.
이밖에 한주산업, 성도엔지니어링, 유니온산업 등의 업체들도 독자적인 모델의 웨트스테이션 장비를 생산, 공급중에 있으며 태양테크, 대창하이테크 등 웨트스테이션 장비의 개조 및 보수를 전문으로하는 업체들 또한 단순 부품교체 수준에서 벗어나 자체적인 장비개발을 추진중이다.
<주상돈 기자>