반도체 클린룸 전문 생산 업체인 신성이엔지(대표 이완근)가 차세대 클린룸 설비인 SMIF(Standard Mechanical Interface) 시스템용 초소형 클린룸 장치(Mini Environment)를 국내 최초로 개발했다.
지난 2년간 SMIF 시스템의 자체 개발을 추진해온 이 회사는 최근 이에 들어갈 핵심 설비중의 하나인 초소형 클린룸 장치를 개발, 국내 H소자업체에 CMP장비 부착용으로 이를 공급함으로써 국내업계 최초로 차세대 SMIF 시스템의 상품화에 성공했다고 8일 밝혔다.
SMIF 시스템은 전체 클린룸 설비 가운데 노광 및 에칭 등 초청정 환경이 요구되는 일부 공간만을 클래스1 이하의 청정상태로 유지함으로써 전체 클린룸 설비의 효율을 극대화 시켜주는 국부 클린룸 설비이다. 이중 신성이 개발한 초소형 클린룸 장치는 웨이퍼를 담는 용기인 밀폐형 퍼드(Pod)와 웨이퍼를 이동시키는 로더 및 언로더 장치 등과 함께 전체 SMIF 시스템을 이루는 핵심 요소이다.
특히 이번 개발된 클린룸 장치는 기존 외산 제품에 비해 소음 및 진동이 적고 공기이온화시스템의 도입으로 정전기 방지 및 풍속 균일도가 우수하다고 회사측은 설명했다.
이에 따라 신성은 본격적인 SMIF시스템 사업을 추진할 별도의 개발사업부를 최근 신설한데 이어 파티클 감시 및 지능형 유압 조절 기능이 추가된 새로운 초소형 클린룸 장치의 출시와 함께 밀폐형 퍼드(Pod), 로더 및 언로더 장치 등 전체 SMIF 시스템의 개발도 적극 추진할 방침이다.
이 회사 시스템개발부 이석홍 담당이사는 『이번 SMIF시스템용 핵심 장치의 개발은 향후 도입될 차세대 클린룸 설비에 대한 핵심 기술의 보유와 함께 각종 관련 장비 및 설비의 개발을 통한 사업 영역 확대을 의미한다』고 강조했다.
<주상돈 기자>