2백56MD램 이상 차세대 반도체 제조설비인 국부 클린룸 시스템의 채택 및 도입이 최근 구체화됨에 따라 이 시장을 둘러싼 국내외 업체간 선점경쟁이 치열해지고 있다.
15일 관련업계에 따르면 아남산업, 삼성전자, 현대전자 등 국내 주요 소자업체들은 반도체 생산비의 절감과 2백56M 이상의 고집적 시대에 대응, 이른바 SMIF(Standard Mechanical Interface) 시스템이라 불리는 국부 클린룸 설비의 도입을 최근 가시화하고 있다.
이에 따라 신성이엔지, 피케이 등의 국내 반도체장비 업체와 미국 어시스트 및 독일 인팹(Infab) 등 세계적인 SMIF 시스템 전문 공급업체들은 이러한 국내 소자업체들의 움직임에 대응해 시스템 개발 및 영업채비를 서둘러 갖추는 등 본격적인 국내 시장공략에 나섰다.
SMIF 시스템은 전체 클린룸 설비 가운데 노광 및 에칭 등 초청정 환경이 요구되는 일부 공간만을 클래스1 이하의 초청정 상태로 유지함으로써 전체 클린룸 설비의 사용효율을 극대화시키는 차세대용 국부 클린룸 설비다. 특히 이러한 국부 클린룸 설비는 현재 주종을 이루는 FFU(Fan Filter Unit)나 시스템 셀링 방식을 대체할 차세대 제품인 데다 초소형 클린룸 장치(Mini Environment)와 밀폐형 웨이퍼 용기(Pod), 웨이퍼 이송용 로봇 시스템 등 관련 응용분야가 넓어 이 시장선점을 위한 업체간 경쟁은 더욱 가속화될 전망이다.
국내 최대 클린룸 설비 업체인 신성이엔지는 지난달 SMIF 시스템용 초소형 클린룸 장치를 개발하고 이를 국내 H소자업체의 CMP장비 부착용으로 본격 공급함으로써 국내 업계 최초로 SMIF 시스템의 상품화에 성공했다. 이 회사는 또한 별도의 SMIF 시스템 개발사업부를 신설하고 이를 통해 밀폐형 퍼드, 로더 및 언로더 장치 등 전체 SMIF 시스템의 개발을 추진하는 등 본격적인 시장공략에 나섰다.
포토마스크 전문 생산업체인 피케이는 반도체사업 다각화의 일환으로 SMIF 시스템 관련 각종 자동화 설비의 국내공급을 추진중이며 정일ENC, 한양기공, 한택 등의 반도체장비 업체들 또한 SMIF 시스템 관련설비의 공급 및 자체 개발에 이미 착수했다.
이와 함께 세계 최초의 SMIF 시스템 개발업체인 미국 어시스트는 최근 국내업체인 S 및 H사와의 합작관계를 청산하고 「어시스트코리아」라는 자체 영업망을 구성했으며 독일의 SMIF 시스템 전문 공급업체인 인팹사 또한 본격적인 국내 시장공략을 위해 지난 7월 「인팹코리아」를 설립했다.
국내업체의 한 관계자는 『최근 도입이 가시화되고 있는 SMIF 시스템은 단순 클린룸 설비이기보다는 전체 반도체장비의 구성 및 운영 방식에까지 영향을 미치는 차세대 공정기술이어서 관련기술 확보 및 제품 공급을 위한 업체간 경쟁은 치열해질 수밖에 없는 상황』이라고 말했다.
<주상돈 기자>