클린룸 생산업체인 신성이엔지(대표 이완근)는 자동 카세트 방식의 웨이퍼 자동이송장치(Sorter) 「WCS2004」를 개발, 양산에 착수한다고 30일 밝혔다.
이 회사가 개발한 웨이퍼 자동이송장치는 반도체 제조의 웨이퍼 일관가공(FAB)공정 중 웨이퍼의 손상을 최소화하기 위해 특정 카세트에서 임의의 카세트로 자동 이송, 정렬시켜주는 일종의 핸들링 머신이다.
8인치 카세트용 4개 포트를 보유한 이 제품은 광문자(OCR) 인식을 통한 ID판독과 윈도95 운용체계의 쉬운 인터페이스를 구현한 것이 특징이다.
이 회사는 개발된 자동이송장치를 반도체 관련 해외 전시회에 잇따라 출품하는 등 본격적인 제품공급을 추진하는 동시에 12인치 웨이퍼용 및 국부 클린룸(SMIF)용 소터의 개발도 본격화할 방침이다.
<주상돈기자>