반도체용 가스 필터 공급 업체인 밀리포아코리아(대표 리카르도 팀머맨)는 반도체 제조에 사용되는 각종 고순도 가스의 수분 함유를 사전에 탐지, 제조 라인 유입을 방지하는 「인라인 가스 모니터(ILM)」 시스템을 본격 출시한다.
초소형으로 설계된 이 제품은 메탈 스퍼터링 공정 등 초고순도 가스가 요구되는 제조 라인의 가스 배관에 부착돼 유입되는 가스 순도를 측정, 일정 수준 이하일 경우 경보와 함께 그 유입을 자동으로 차단하는 센서 장치이다.
또한 이 시스템은 전체 반도체 제조 라인에 총 40개가 부착되며 이를 8개 장치씩 5개 그룹으로 묶어 원격 모니터링 가능하도록 구성돼 있다.
<주상돈 기자>