일본 테스콘은 IC/LSI 체크장비인 「포인트 2020」과 스핀세정장비를 전시했다.
「포인트 2020」은 IC/LSI의 각 핀에 순차적으로 프로그램이 설정된 전압과 전류를 흘려 이때 발생하는 IC/LSI 내부 전류치와 전압치를 측정해 그 불량 여부를 판정하는 장비다.
이 제품은 주로 정전기 등에 의한 불량 IC의 판별과 와이어 본딩 후 접촉상태 불량 검사 등에 널리 이용될 수 있으며 특히 측정 가능한 핀 수가 최대 1천24핀으로 핀수의 증가가 예상되는 향후 디바이스에 적절하게 대응한다고 테스콘측은 설명했다.
테스콘은 이와 동시에 스핀 세정장치도 출품했는데 이 제품은 현재 주류인 2백 웨이퍼 뿐만 아니라 내년부터 도입이 본격화 될 3백에까지 적용 가능하다. 또한 이 장비는 비접촉 방식을 채택, 양면을 동시에 세정할 수 있으며 웨이퍼 반송 방식은 카세트 방식과 인라인 방식 모두를 갖추고 있다.