반도체용 레이저 소스 전문 공급업체인 사이머코리아(대표 신중호)가 DUV(Deep Ultra Violet) 노광 공정용 레이저 공급 장치에 대한 본격적인 국내 영업에 착수한다.
미국 사이머사와 국내 반도체 장비업체인 디아이가 지난해 합작 설립한 이 회사는 최근 경기도 성남시 분당구에 사무실 및 기술지원 센터를 설립하고 올해부터 64MD램 이상 고집적 반도체 제조에 들어가는 DUV 스테퍼용 레이저 소스의 본격적인 국내 공급과 제품 AS에 들어간다고 6일 밝혔다.
이에 따라 이 회사는 기존 제품보다 안정성 및 생산성은 높으면서도 장비 운영 비용은 획기적으로 줄인 미국 사이머의 「5000시리즈」을 주력 공급함과 동시에 자체 AS 인력의 양성과 체임버 등 소모성 부품에 대한 단계적인 국내 생산도 적극 추진키로 했다.
이 회사 신중호 사장은 『사이머가 생산하는 KrF 액시머 레이저 소스는 차세대 노광 장비인 DUV 스테퍼용 핵심 모듈로 최근 국내 반도체 업계에서도 이 장비의 채택이 본격화됨에 따라 올해 60대 이상의 레이저 소스를 공급, 4천만달러 정도의 매출을 올릴 수 있을것』으로 전망했다.
한편, 미국 사이머는 전세계 반도체 노광용 레이저 소스 시장의 90% 이상을 점유하고 있는 레이저 장치 전문 생산 업체로 최근 DUV 공정의 도입 확대에 힘입어 지난해 2억 달러 이상의 매출을 올리는 등 연평균 3백% 이상의 고속 성장을 거듭하고 있는 미국 유명 벤처기업이다.
<주상돈 기자>