국내 장비업체들이 반도체 제조 공정에 사용되는 웨이퍼 자동이송장치(Sorter)를 잇따라 개발, 출시하고 있다.
4일 관련업계에 따르면 반도체 장비업체인 한택과 세종반도체가 지난해 8인치 웨이퍼용 자동이송장치를 개발, 본격적인 제품 생산에 나선데 이어 최근 클린룸 설비업체인 신성이엔지도 관련 장비를 국산화하고 이 시장에 가세했다.
웨이퍼 자동이송장치는 반도체 웨이퍼 가공 공정(FAB)중 웨이퍼의 손상을 최소화하기 위해 이를 특정 카세트에서 다른 카세트로 자동 이송, 정렬시켜주는 일종의 핸들링 머신으로 특히 초소형 클린룸 장치(Mini Environment) 등과 함께 차세대 국부 클린룸 설비인 SMIF(Standard Mechanical Interface) 시스템을 이루는 핵심 기술로 인식되고 있다.
반도체 장비업체인 한택은 지난해 8인치 웨이퍼 자동이송장치를 개발, 현대전자에 공급한데 이어 최근 웨이퍼 핸들링 영역의 청정도를 클래스 1 수준까지 유지할 수 있는 SMIF 시스템용 이송장치인 「HAS-200M/4」 모델을 장비업계 최초로 국산화하고 이의 양산을 준비중이다. 특히 한택은 이번에 개발된 장비가 전체 SMIF 시스템을 이루는 핵심 요소로 최근 그 채용이 크게 확대되고 있는데 주목하고 최근 대만 지역 업체와 수출 대리점 계약을 체결하는 등 이 장비의 해외 공급도 본격 추진할 방침이다.
클린룸 설비 업체인 신성이엔지는 자동 카세트 방식의 웨이퍼 이송장치인 「WCS2004」 모델을 개발하고 이의 본격적인 공급을 추진하는 동시에 별도의 개발팀을 구성, 12인치 웨이퍼 및 SMIF 시스템용 소터 개발도 현재 진행중이다. 이 회사는 또한 웨이퍼를 담는 용기인 밀폐형 퍼드(Pod)와 초소형 클린룸 장치도 개발, SMIF 시스템 관련 전문업체로 발돋움한다는 전략을 세워놓고 있다.
이와 함께 세종반도체도 중기거점개발사업을 통해 삼성전자와 공동으로 6인치 및 8인치 웨이퍼는 물론 액정표시장치(LCD) 생산 라인에까지 적용할 수 있는 자동 이송장치를 개발하고 이의 본격적인 양산 및 업그레이드를 추진하고 있다.
<주상돈 기자>