반도체 장비 공급업체인 라이카코리아(대표 고승희)는 반도체 웨이퍼의 각종 결함을 자동으로 검색, 분류해 주는 웨이퍼 검사 장비 「INS3000」 제품을 국내에 공급한다.
이번에 출시된 제품은 첨단 화상 분석 시스템과 고해상도의 렌즈 및 광학 현미경을 이용, 반도체 웨이퍼에 발생하는 각종 파티클을 검출해 내는 검사 장비로 차세대 국부클린룸 설비인 SMIF(Standard Mechanical Interface) 시스템에까지 적용 가능하다.
특히 이 장비는 「ADC NT」라는 자동 결함 분류 시스템을 채택, 제조 공정의 변경이나 고장에 관계없이 모든 검사 정보를 24시간 연속으로 관리할 수 있으며 수집된 데이터는 네트워크를 통해 수율 관리 시스템으로 전달됨으로써 반도체 공정 관리의 최적화가 가능하다.
<주상돈 기자>