삼양사(대표 김윤)가 일본 미쓰비시화학과 합작으로 포토레지스트 전문 생산 업체인 「한국리소컴」을 설립, 이 시장에 본격 진출한다.
자본금 40억원 규모로 설립되는 한국리소컴은 삼양사가 12억원(30%)을, 미쓰비시화성이 28억원(70%)를 각각 출자했으며 향후 3백억원을 투자해 천안 외국인전용산업단지에 포토레지스트 생산 공장을 건설할 예정이다.
이를 통해 삼양사는 연간 10만 갤런 이상의 포토레지트를 국내에서 생산, 공급할 계획이며 제품 제조 및 기술 개발은 일본 미쓰비시화학이 맡게된다.
포토레지스트는 설계된 반도체 회로를 웨이퍼에 전사시킬 때 빛의 조사 여부에 따라 달리 감응함으로써 미세 회로 패턴을 형성할 수 있도록 하는 노광 공정용 감광 재료로 이 중 G라인용과 i라인용은 각각 4MD램 및 16MD램 양산에 사용되며 차세대인 DUV용 포토레지스트는 64MD램 이상 반도체 제조에 사용된다.
<주상돈 기자>