그동안 일본 도쿄일렉트론(TEL)이 거의 독점해온 국내 트랙장비시장에 구도변화의 조짐이 일고 있다.
6일 관련업계에 따르면 64MD램 이상의 고집적 반도체 제조를 위한 DUV(Deep Ultra Violet) 노광공정용 트랙장비의 양산라인 채택이 최근 본격화하면서 FSI, SVG, DNS 등 외국 업체는 물론 국내 트랙장비 개발업체인 실리콘테크 등 이 분야 후발업체들의 국내 시장공세도 점차 가속화하고 있다.
이에 따라 일본 TEL이 70% 가량의 시장점유율을 보이며 절대적인 우위를 차지한 가운데 DNS가 이를 뒤쫓는 형국이던 국내 트랙장비시장은 국산 트랙장비의 개발과 FSI, SVG 등 미국업체들의 적극적인 시장공세로 전체적인 시장구도의 변화가 점쳐지고 있다.
최근 가장 공격적인 마케팅을 구사하고 있는 FSI는 국내 장비 공급업체인 매트론코리아를 통해 첨단 DUV용 트랙장비인 「Polaris 2500」을 국내에 소개하고 이의 본격적인 공급에 나선 결과, 이미 2개 이상의 국내 소자업체에 이를 납품한 것으로 알려졌다.
국내 반도체장비 업체인 실리콘테크는 케미컬 공급장치, 코터(Coater), 디벨로퍼(Developer), WEE(Wafer Edge Exposure)시스템 등과 같은 차세대 트랙 장비용 핵심 모듈을 잇따라 개발, 해외 소자 및 유력 장비업체에 이를 수출하는 한편 자체적인 트랙장비의 생산도 곧 추진할 방침이다.
이와 함께 DNS가 DUV 프로세서용 트랙장비인 「D-Spin200」 제품을 현재 국내에 공급하고 있으며 SVG 또한 차세대용 트랙장비를 출시, 연구소에 이어 실제 양산라인에 공급도 추진하고 있다.
이러한 후발 업체들의 적극적인 시장공세에 대응, 국내 최대 트랙장비 공급업체인 TEL은 시간당 최대 1백20장의 웨이퍼 처리속도를 지닌 DUV용 트랙장비인 「CLEAN TRACK ACT-8」 을 주력으로 시장점유율 확대에 나서는 한편 12인치 웨이퍼용 「CLEAN TRACK ACT-12」 모델도 서둘러 출시, 현재의 선두 위치를 고수해 간다는 전략이다.
트랙장비는 반도체 감광재료인 포토레지스트를 웨이퍼에 도포한 후 이를 다시 현상해주는 코터 앤 디벨로퍼(Coater & Developer) 장비로 1개 반도체 라인당 50대 이상씩 대량 소요되면서도 대당 제품가격은 20억원을 호가하는 노광공정용 핵심 장비다.
<주상돈 기자>