반도체 장비업체인 주성엔지니어링(대표 황철주)이 국내 최초로 에피택셜(Epitaxial) 웨이퍼(이하 에피웨이퍼) 양산용 성장 장치인 「유레카2000E」를 개발, 이 시장에 본격 진출한다.
에피웨이퍼는 기존 실리콘웨이퍼 위에 화학증착법을 이용, 또다른 단결정막을 성장시킨 것으로 표면결함이 적고 전기적 특성이 우수해 향후 고부가가치 비메모리 제품과 고집적 메모리 제조에 확대 채용될 것으로 기대되는 차세대 웨이퍼 제품이다.
주성이 개발한 「유레카2000E」는 이러한 에피웨이퍼를 생산하는데 사용되는 핵심 설비로 그동안 어플라이드머티리얼스나 ASM 등과 같은 외국업체로부터 전량 수입, 사용해 왔다.
이런 가운데 개발된 주성의 장비는 기존 외산제품에 비해 훨씬 높은 진공상태를 유지함으로써 성장되는 에피막의 순도를 높였다.
또한 저온(6백∼8백도) 공정을 통해 표면 결함 밀도를 낮추고 불순물의 확산과 고온 공정으로 인한 웨이퍼의 휨 현상을 사전에 방지했다.
〈주상돈 기자〉