반도체 장비업체인 주성엔지니어링(대표 황철주)이 국내 장비업체로는 처음으로 유력 외국 반도체 장비업체와 전략적 제휴를 맺는다.
이 회사는 최근 미국의 전공정 장비 전문 생산업체인 매슨테크놀로지(Mattson Technology)와 차세대 반도체 장비 개발 및 세계시장 마케팅을 위한 전략적 제휴 관계를 체결키로 하고 이에 따른 구체 사항 합의에 착수했다고 12일 밝혔다.
특히 이번 전략적 제휴는 단순한 장비 공동 개발 및 판매 차원을 넘어 전세계 장비시장을 겨냥한 합작 형태의 공동 투자 방안까지 모색되고 있는 것으로 알려져 국내는 물론 세계시장에도 작지 않은 영향을 미칠 것으로 예상된다.
이번 제휴 대상업체인 매슨테크놀로지는 스트리퍼·에처·고속열처리(RTP)장비 등과 같은 반도체 전공정용 핵심 장비만을 개발, 생산하는 회사로 한국과 일본은 물론 대만 및 유럽 지역에까지 직접 진출해 연간 1억달러 이상의 매출을 올리고 있는 유력 장비업체다.
이번 제휴가 성사될 경우 주성엔지니어링은 현재 주력 생산하는 화학증착(CVD)장비를 포함, 반도체 증착 및 에칭 공정 관련 토털 솔루션을 확보하게 되며 매슨테크놀로지의 세계 판매망을 통한 본격적인 장비 해외 수출도 가능하게 될 전망이다.
또한 매슨테크놀로지는 주성이 이미 세계시장을 석권한 커패시터 공정 분야의 CVD장비와 최근 개발 완료한 에피택셜(Epitaxial) 웨이퍼용 성장 장치 및 고밀도 플라즈마(HDP:High Density Plasma) 방식 CVD장비에 대한 기술과 해외 판매권을 가지게 된다.
주성엔지니어링의 한 관계자는 『차세대 반도체 장비 개발에 필요한 기술 난이도가 점차 높아지고 이에 따른 연구 개발 및 사업 추진 비용도 갈수록 커짐에 따라 업체 단독으로 이를 수행하기는 현실적으로 힘든 상황』이라면서 『이번 전략적 제휴는 현재 양사가 보유한 전공정 장비 제조 분야의 기술력을 바탕으로 전세계 시장에 도전, 어플라이드나 도쿄일렉트론(TEL)과 같은 세계 수위권 장비업체로 발돋움할 수 있는 기틀을 마련한 것』이라고 강조했다.
지난 93년 설립된 주성엔지니어링은 국내 최초로 반도체용 저압화학증착(LPCVD)장비인 「유레카2000」을 개발, 지난해 3백억원 이상의 매출을 올린 데 이어 올해 5백억원과 99년 1천억원 이상의 매출 달성을 목표로 하는 반도체 장비 분야 전문 벤처기업이다.
<주상돈 기자>