반도체 장비업체인 이오테크닉스(대표 성규동)는 웨이퍼의 식별번호(ID) 인쇄에 사용되는 레이저 마킹시스템을 개발, 이의 본격적인 양산에 나선다.
이번에 개발된 장비는 Nd;YAG 레이저를 이용해 4∼8인치 웨이퍼에 ID를 비롯한 각종 제품 사항들을 인쇄하는 마킹시스템으로 인쇄 대상물과 직접 접촉하지 않고도 정밀한 마킹이 가능하다.
다양한 폰트의 문자 인쇄가 가능한 이 장비는 2개의 로봇을 채용, 웨이퍼 핸들링 시간을 최소화함으로써 시간당 최대 2백40장의 웨이퍼를 처리할 수 있으며 각종 파티클로부터 웨이퍼가 오염되지 않도록 클래스1 수준의 고청정 클린룸 환경도 제공한다.
또한 네트워크를 통한 종합적인 데이터 관리 기능과 함께 공정 자동화를 위한 SECS(Semiconductor Equipment Communication Standard) 통신 프로토콜도 지원한다.
이오테크닉스는 이달말 개최되는 「세미콘코리아」 행사는 물론 각종 해외 전시회 등을 통해 이 장비를 소개하고 올해부터 본격적인 제품 공급에 나설 방침이다.
<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>