반도체 장비업체인 한국쎄미툴(대표 최형남)은 22일부터 양일간 구리 도금 장비 및 첨단 웨트스테이션 관련 기술 심포지엄을 인터컨티넨탈호텔에서 개최한다.
이번 기술 심포지엄에는 미국 세미툴(Semitool)이 최근 개발한 차세대 구리칩 대응 도금 기술과 포토레지스트의 세정과 관련된 각종 첨단 공정들이 소개될 예정이다.
세미툴은 단일 배스(Bath) 및 스프레이 방식 웨트스테이션 장비와 구리칩 제조용 도금 장비 분야에서 세계 최초로 양산 장비를 개발, 공급하고 있는 이 분야 전문기업으로 한국시장 개척을 위해 지난해 한국쎄미툴을 설립했다. 문의 (02)563-3141
<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>